[发明专利]一种LIBS光谱探测及显微成像的多功能系统在审
| 申请号： | 201610236252.3 | 申请日： | 2016-04-15 |
| 公开（公告）号： | CN105784681A | 公开（公告）日： | 2016-07-20 |
| 发明（设计）人： | 姜守望;王欣;万金龙;何志平;舒嵘;王建宇 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海技术物理研究所 |
| 主分类号： | G01N21/71 | 分类号： | G01N21/71 |
| 代理公司： | 上海新天专利代理有限公司 31213 | 代理人： | 郭英 |
| 地址： | 200083 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 libs 光谱 探测 显微 成像 多功能 系统 | ||
1.一种LIBS光谱探测及显微成像的多功能系统，包括：激光器(1)，扩 束模块(2)，反射式显微系统，像差校正板(7)，耦合透镜组(9)，光纤探测 模块(11)，成像探测器(12),其特征在于：
激光器(1)发射出1064nm的激光，经扩束模块(2)扩束后，由反射镜 (3)和偏置于主镜(5)和次镜(6)之间的第一分色片(4)进入反射式显微 系统，之后经像差校正板(7)聚焦到被测物体(8)上，被测物体(8)受到 激光照射后产生等离子体光谱，等离子体光谱经主镜(5)、次镜(6)及第一 分色片(4)进入耦合透镜组(9)，通过耦合透镜组(9)之后到达偏置于耦合 透镜组(9)之后的第二分色片(10)，第二分色片(10)将光束分成两路，一 路光进入光谱探测模块(11)进行光谱探测，另一路光进入成像探测器(12) 进行显微成像。
2.根据权利要求1所述的LIBS光谱探测及显微成像的多功能系统，其 特征在于：所述的反射式显微系统由主镜(5)、次镜(6)及像差校正板(7) 组成，像差校正板(7)放置于主镜(5)与被测物体(8)之间的光路中，像 差校正板(7)为施密特校正板，其中一个表面为高次非球面。
3.根据权利要求1所述的LIBS光谱探测及显微成像的多功能系统，其 特征在于：所述的激光器(1)的激光波长为1064nm，出射光斑直径3mm，发 散角为1mrad。
4.根据权利要求1所述的LIBS光谱探测及显微成像的多功能系统，其 特征在于：所述的扩束模块(2)由两片透镜组成，角放大倍数为0.13。
5.根据权利要求1所述的LIBS光谱探测及显微成像的多功能系统，其 特征在于：所述的耦合透镜组(9)由两片透镜组成，两片透镜的阿贝数相差 30以上，且两种材料在240nm-1000nm波段的光谱透过率均在90％以上。
6.根据权利要求1所述的LIBS光谱探测及显微成像的多功能系统，其 特征在于：所述的第一分色片(4)上镀1064nm反射膜，240nm-1000nm增透膜。
7.根据权利要求1所述的LIBS光谱探测及显微成像的多功能系统，其 特征在于：所述的第二分色片(10)上镀900nm-1000nm反射膜，240nm-850nm 增透膜。
8.根据权利要求1所述的LIBS光谱探测及显微成像的多功能系统，其 特征在于：所述的光纤探测模块(11)中采用的光纤芯径为600um，且分成 240nm-340nm、340nm-540nm、540nm-850nm三个波段分别进行光谱探测。
9.根据权利要求1所述的LIBS光谱探测及显微成像的多功能系统，其 特征在于：所述的成像探测器(12)的像素大小为64×64，像元尺寸大小为 30um。
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