[发明专利]一种光波导传感芯片及其制备方法以及应用有效
| 申请号： | 201610211591.6 | 申请日： | 2016-04-06 |
| 公开（公告）号： | CN105699331B | 公开（公告）日： | 2018-08-07 |
| 发明（设计）人： | 孙树清;张亚飞;王桂强 | 申请（专利权）人： | 清华大学深圳研究生院 |
| 主分类号： | G01N21/41 | 分类号： | G01N21/41;G01N21/55 |
| 代理公司： | 深圳新创友知识产权代理有限公司 44223 | 代理人： | 余敏 |
| 地址： | 518055 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： |
本发明公开了一种光波导传感芯片及其制备方法以及应用，制备方法包括以下步骤：1)在基底材料上制备金膜得到金膜基底，将金膜基底进行处理：浸入巯基硅烷溶液中处理后用酸溶液处理；或者，浸入巯基烷醇溶液中处理；2)将金膜基底直接浸入温度为60～70℃的 |
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| 搜索关键词： | 一种 波导 传感 芯片 及其 制备 方法 以及 应用 | ||
【主权项】：
1.一种光波导传感芯片的制备方法，其特征在于：包括以下步骤：1)在基底材料上制备金膜得到金膜基底，将金膜基底采用如下两种方式中的任一种进行处理：第一种：浸入巯基硅烷溶液中处理后用酸溶液处理；第二种：浸入巯基烷醇溶液中处理；2)将经步骤1)得到的金膜基底直接浸入温度为60～70℃的![]()
溶液中静置48～120h，至直接在所述金膜基底上生长出所需厚度的二氧化硅薄膜；所述![]()
溶液为十六烷基三甲基溴化铵、水、乙醇、质量分数为25％的浓氨水和正硅酸乙酯的混合溶液；其中，乙醇：水：浓氨水：正硅酸乙酯的体积比为(18～20):(30～32):(0.004～0.032):(0.032～0.048)，每50mL的混合溶液中包含0.08～0.12g的十六烷基三甲基溴化铵；3)将生长有二氧化硅薄膜的金膜基底进行干燥处理。
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