[发明专利]一种光波导传感芯片及其制备方法以及应用

权利要求书

1.一种光波导传感芯片的制备方法，其特征在于：包括以下步骤：1)在基底材料上制备金膜得到金膜基底，将金膜基底采用如下两种方式中的任一种进行处理：第一种：浸入巯基硅烷溶液中处理后用酸溶液处理；第二种：浸入巯基烷醇溶液中处理；2)将经步骤1)得到的金膜基底直接浸入温度为60～70℃的溶液中静置48～120h，至直接在所述金膜基底上生长出所需厚度的二氧化硅薄膜；所述溶液为十六烷基三甲基溴化铵、水、乙醇、质量分数为25％的浓氨水和正硅酸乙酯的混合溶液；其中，乙醇：水：浓氨水：正硅酸乙酯的体积比为(18～20):(30～32):(0.004～0.032):(0.032～0.048)，每50mL的混合溶液中包含0.08～0.12g的十六烷基三甲基溴化铵；3)将生长有二氧化硅薄膜的金膜基底进行干燥处理。

2.根据权利要求1所述的光波导传感芯片的制备方法，其特征在于：所述步骤2)中，所述乙醇：水：浓氨水：正硅酸乙酯的体积比为19:31:(0.004～0.032):(0.032～0.048)。

3.根据权利要求1所述的光波导传感芯片的制备方法，其特征在于：所述步骤2)中，所述乙醇：水：浓氨水：正硅酸乙酯的体积比为19:31:0.018:0.036，每50mL的混合溶液中包含0.12g的十六烷基三甲基溴化铵。

4.根据权利要求1所述的光波导传感芯片的制备方法，其特征在于：所述步骤2)中，所述乙醇：水：浓氨水：正硅酸乙酯的体积比为19:31:0.011:0.044，每50mL的混合溶液中包含0.1g的十六烷基三甲基溴化铵。

5.根据权利要求1所述的光波导传感芯片的制备方法，其特征在于：所述步骤2)中，所述乙醇：水：浓氨水：正硅酸乙酯的体积比为19:31:0.025:0.048，每50mL的混合溶液中包含0.09g的十六烷基三甲基溴化铵。

6.根据权利要求1所述的光波导传感芯片的制备方法，其特征在于：所述步骤2)中，所述乙醇：水：浓氨水：正硅酸乙酯的体积比为19:31:0.032:0.04，每50mL的混合溶液中包含0.11g的十六烷基三甲基溴化铵。

7.根据权利要求1所述的光波导传感芯片的制备方法，其特征在于：所述步骤2)中，温度为63～65℃，静置时间为90～96h。

8.根据权利要求1所述的光波导传感芯片的制备方法，其特征在于：所述步骤3)中，干燥处理时，干燥温度为80～120℃，干燥时间为6～24h。

9.根据权利要求1～8任一所述的制备方法制得的光波导传感芯片。

10.一种光波导传感芯片的应用方法，其特征在于：将根据权利要求1～8任一所述的制备方法制得的光波导传感芯片应用于生物分子检测。