[发明专利]一种等离子体电弧监测方法及装置有效
| 申请号： | 201610200486.2 | 申请日： | 2016-03-31 |
| 公开（公告）号： | CN107293465B | 公开（公告）日： | 2019-02-26 |
| 发明（设计）人： | 徐蕾;饭塚浩;席朝晖;倪图强 | 申请（专利权）人： | 中微半导体设备（上海）有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32;H01J37/244 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 党丽;王宝筠 |
| 地址： | 201201 上海市浦东新*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供一种等离子体电弧监测方法，在利用该对静电吸盘的电信号进行电弧的监测时，通过将电信号与第一阈值进行比较，获得第一比较波形，通过将电信号与第二阈值进行比较，获得第二比较波形，由于第一阈值较小，第一比较波形的脉冲具有更长的持续时间，便于获取变化较快的电信号的相对较宽的持续时间，而第二波形是通过与较大的阈值比较后获得波形，也就是说，第二波形中的脉冲代表幅值满足要求的情况，通过这二者的判断，可以去除了电信号微小波动或短暂波动等干扰信号，有效的判断出准确的电弧发生的情况，达到可靠监测等离子体电弧发生的目的。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 等离子体 电弧 监测 方法 装置 | ||
【主权项】：
1.一种等离子体电弧监测方法，其特征在于，包括：利用静电吸盘电源的电信号的变化监测等离子体电弧的发生，电信号包括电压信号或电流信号；利用静电吸盘电源的电信号的变化监测等离子体电弧的发生的步骤包括：将电信号与第一阈值进行比较，获得第一比较波形；将电信号与第二阈值进行比较，获得第二比较波形，其中，第二阈值大于第一阈值；判断第一比较波形中的脉冲的持续时间是否在预设时长范围内，以输出第三波形，第三波形中的脉冲对应第一比较波形中脉冲持续时间在预设时长范围内的脉冲，并判断在第三波形的脉冲持续时间内，第二比较波形中是否也存在脉冲，若是，则认为有一次等离子体电弧发生。
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