[发明专利]一种等离子体电弧监测方法及装置

权利要求书

1.一种等离子体电弧监测方法，其特征在于，包括：

利用静电吸盘电源的电信号的变化监测等离子体电弧的发生，电信号包括电压信号或电流信号；

利用静电吸盘电源的电信号的变化监测等离子体电弧的发生的步骤包括：

将电信号与第一阈值进行比较，获得第一比较波形；

将电信号与第二阈值进行比较，获得第二比较波形，其中，第二阈值大于第一阈值；

判断第一比较波形中的脉冲的持续时间是否在预设时长范围内，以输出第三波形，第三波形中的脉冲对应第一比较波形中脉冲持续时间在预设时长范围内的脉冲，并判断在第三波形的脉冲持续时间内，第二比较波形中是否也存在脉冲，若是，则认为有一次等离子体电弧发生。

2.根据权利要求1所述的监测方法，其特征在于，在认为有一次等离子体电弧发生之后，还包括：

输出预设周期的脉冲波形，以用于电弧的识别。

3.根据权利要求1所述的监测方法，其特征在于，判断在第三波形的脉冲持续时间内，第二比较波形中是否也存在脉冲的方法包括：

将第二比较波形中的脉冲进行延时，延时结束的时间在第三波形的脉冲翻转之后的预定时间内，以输出第四波形；

将第三波形与第四波形进行与逻辑操作，以输出第五波形，并认为第五波形中的脉冲对应等离子体电弧发生的信号。

4.根据权利要求3所述的监测方法，其特征在于，将第二比较波形中的脉冲进行延时，延时结束的时间在第三波形的脉冲翻转之后的预定时间内，以输出第四波形的步骤包括：

将第二比较波形的脉冲通过电容延时电路进行延时，通过电路延时电路确定延时结束的时间，且延时结束的时间在第三波形的脉冲翻转之后的预定时间内，以输出第四波形。

5.根据权利要求3所述的监测方法，其特征在于，将第二比较波形中的脉冲进行延时，延时结束的时间在第三波形的脉冲翻转之后的预定时间内，以输出第四波形的步骤包括：

将第二比较波形的脉冲延时一段时间，通过第三波形的脉冲下降沿确定延时的结束的时间，且延时结束的时间在第三波形的脉冲翻转之后的预定时间内，以输出第四波形。

6.根据权利要求1-5中任一项所述的监测方法，其特征在于，静电吸盘电源的电信号来自静电吸盘高压直流转换器的电流检测端口。

7.一种等离子体电弧监测装置，其特征在于，用于利用静电吸盘电源的电信号的变化监测等离子体电弧的发生，电信号包括电压信号或电流信号，包括：

第一比较器，用于将电信号与第一阈值进行比较，获得第一比较波形；

第二比较器，将电信号与第二阈值进行比较，获得第二比较波形，其中，第二阈值大于第一阈值；

第一判断单元，判断第一比较波形中的脉冲的持续时间是否在预设时长范围内，以输出第三波形，第三波形中的脉冲对应第一比较波形中脉冲持续时间在预设时长范围内的脉冲；

第二判断单元，用于判断在第三波形的脉冲持续时间内，第二比较波形中是否也存在脉冲，若是，则认为有一次等离子体电弧发生。

8.根据权利要求7所述的监测装置，其特征在于，还包括：

脉冲输出单元，用于输出预设周期的脉冲波形，以用于电弧的识别。

9.根据权利要求7所述的监测装置，其特征在于，第二判断单元包括：延时单元，用于将第二比较波形中的脉冲进行延时，延时结束的时间在第三波形的脉冲翻转之后的预定时间内，以输出第四波形；

与电路单元，用于将第三波形与第四波形进行与逻辑操作，以输出第五波形，并认为第五波形中的脉冲对应等离子体电弧发生的信号。

10.根据权利要求9所述的监测装置，其特征在于，延时单元为电容延时电路，通过电容延时电路将第二比较波形的脉冲延时，并通过延时电路确定延时结束的时间，且延时结束的时间在第三波形的脉冲翻转之后的预定时间内，以输出第四波形。