[发明专利]一种柔性触觉传感器

摘要

本发明公开了一种柔性触觉传感器。柔性封装外层内，腔体阵列柔性层固定安装在腔体阵列金属基座上，腔体阵列柔性层和腔体阵列金属基座之间形成多个密封且相互隔离不连通的油液填充空腔，油液填充空腔充满有传导油液，每个油液填充空腔内的腔体阵列金属基座底面固定有硅压力敏感单元，并开有四个通孔分别密封安装金属接线柱和密封塞。本发明柔性触觉传感器具有稳定性好、灵敏度高、具备静动态信号检测能力、制备工艺成熟、集成方便的特点，可用于人工假肢、机器人手等智能化机电设备。

主权项

一种柔性触觉传感器，其特征在于：包括柔性封装外层(1)以及被包裹在柔性封装外层(1)内的腔体阵列柔性层(2)、固定金属片(3)和腔体阵列金属基座(4)，腔体阵列柔性层(2)安装在腔体阵列金属基座(4)上，并通过固定金属片(3)和螺栓(11)固定连接；腔体阵列柔性层(2)和腔体阵列金属基座(4)之间形成多个密封且相互隔离不连通的油液填充空腔，油液填充空腔充满有传导油液(10)，每个油液填充空腔内的腔体阵列金属基座(4)底面固定有硅压力敏感单元(5)，并开有四个通孔，其中三个通孔中密封安装金属接线柱(6)，另一个通孔用于充入传导油液(10)并通过密封塞(7)塞紧，金属接线柱(6)位于油液填充空腔内的一端经内部金线(8)与硅压力敏感单元(5)连接，金属接线柱(6)位于油液填充空腔外的一端与外部引线(9)连接；所述的柔性封装外层(1)和腔体阵列柔性层(2)均由顺丁橡胶制成，固定金属片(3)、腔体阵列金属基座(4)、金属接线柱(6)和密封塞(7)均由铝合金材料制成；所述每个油液填充空腔的腔体阵列金属基座(4)底面的四个通孔分别为接线柱孔(4b)和密封孔(4c)；所述的硅压力敏感单元(5)通过玻璃熔融烧结方式固定于腔体阵列金属基座(4)上。