[发明专利]一种柔性触觉传感器

权利要求书

1.一种柔性触觉传感器，其特征在于：包括柔性封装外层(1)以及被包裹在柔性封装外层(1)内的腔体阵列柔性层(2)、固定金属片(3)和腔体阵列金属基座(4)，腔体阵列柔性层(2)安装在腔体阵列金属基座(4)上，并通过固定金属片(3)和螺栓(11)固定连接；腔体阵列柔性层(2)和腔体阵列金属基座(4)之间形成多个密封且相互隔离不连通的油液填充空腔，油液填充空腔充满有传导油液(10)，每个油液填充空腔内的腔体阵列金属基座(4)底面固定有硅压力敏感单元(5)，并开有四个通孔，其中三个通孔中密封安装金属接线柱(6)，另一个通孔用于充入传导油液(10)并通过密封塞(7)塞紧，金属接线柱(6)位于油液填充空腔内的一端经内部金线(8)与硅压力敏感单元(5)连接，金属接线柱(6)位于油液填充空腔外的一端与外部引线(9)连接；所述的柔性封装外层(1)和腔体阵列柔性层(2)均由顺丁橡胶制成，固定金属片(3)、腔体阵列金属基座(4)、金属接线柱(6)和密封塞(7)均由铝合金材料制成；所述每个油液填充空腔的腔体阵列金属基座(4)底面的四个通孔分别为接线柱孔(4b)和密封孔(4c)；所述的硅压力敏感单元(5)通过玻璃熔融烧结方式固定于腔体阵列金属基座(4)上。

2.根据权利要求1所述的一种柔性触觉传感器，其特征在于：所述的腔体阵列金属基座(4)上设有多个间隔均布的凹槽，腔体阵列柔性层(2)设有与各个凹槽对应的半球形突起，突起在凹槽上配合形成油液填充空腔，整个腔体阵列柔性层(2)外覆盖有固定金属片(3)，相邻的两个油液填充空腔之间的腔体阵列金属基座(4)顶面设有螺纹孔(4a)，相邻的两个油液填充空腔之间的腔体阵列柔性层(2)和固定金属片(3)处均设有与螺纹孔(4a)相对应的通孔，螺栓(11)穿过固定金属片(3)和腔体阵列柔性层(2)通孔后连接到腔体阵列金属基座(4)。

3.根据权利要求2所述的一种柔性触觉传感器，其特征在于：所述的柔性封装外层(1)上表面具有与腔体阵列柔性层(2)各个半球形突起对应的微凸起阵列。

4.根据权利要求2所述的一种柔性触觉传感器，其特征在于：所述的腔体阵列金属基座(4)上的凹槽具有9个，呈3×3方式间隔阵列均布。

5.根据权利要求2所述的一种柔性触觉传感器，其特征在于：所述的金属接线柱(6)通过玻璃熔融烧结方式固定于腔体阵列金属基座(4)的接线柱孔(4b)中，并在金属接线柱(6)柱侧面与接线柱孔(4b)内壁之间设有玻璃浆料。