[发明专利]检查半导体封装的印刷电路板的方法有效
| 申请号: | 201610172885.2 | 申请日: | 2013-05-07 |
| 公开(公告)号: | CN105845594B | 公开(公告)日: | 2019-02-05 |
| 发明(设计)人: | 郑显权;池升龙;李贞均 | 申请(专利权)人: | 韩美半导体株式会社 |
| 主分类号: | H01L21/66 | 分类号: | H01L21/66;H01L21/60 |
| 代理公司: | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人: | 徐金国 |
| 地址: | 韩国仁*** | 国省代码: | 韩国;KR |
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| 摘要: | 公开一种检查半导体封装的印刷电路板的方法,通过接合装置执行,接合装置包括:晶片供给单元;包括第四可视系统的预对准单元,该系统用于拍摄印刷电路板(PCB)的安装区域,在安装区域上允许分别安装多个芯片;接合台;用于将每个芯片从晶片供给单元传送到接合台的接合提取器;及第一可视系统,用于拍摄接合台中的PCB的安装区域,该方法包括:制备具有多个安装区域的PCB,其中在多个安装区域上将要分别安装多个芯片;通过使用第四可视系统对设置于预对准单元上的PCB的各个安装区域执行多次图像拍摄,以获得PCB的各个安装区域的多个位置值;和根据PCB的各个安装区域的多个位置值,确定PCB的各个安装区域的最终位置值。 | ||
| 搜索关键词: | 安装区域 印刷电路板 可视系统 接合台 半导体封装 供给单元 接合装置 预对准 芯片 晶片 图像拍摄 最终位置 接合 提取器 拍摄 制备 检查 | ||
【主权项】:
1.一种检查半导体封装的印刷电路板的方法,所述方法通过接合装置执行,所述接合装置包括:晶片供给单元;包括第四可视系统的预对准单元,所述第四可视系统用于拍摄所述印刷电路板的安装区域,在所述安装区域上允许分别安装多个芯片;接合台,在所述接合台上将每个芯片安装在所述印刷电路板上;用于将每个芯片从所述晶片供给单元传送到所述接合台的接合提取器;以及第一可视系统,所述第一可视系统用于拍摄所述接合台中的印刷电路板的安装区域,所述方法包括:(a)制备具有多个安装区域的印刷电路板,其中每个安装区域具有图案;(b)通过使用所述第四可视系统对设置于所述预对准单元上的印刷电路板的各个安装区域执行多次图像拍摄,以获得所述印刷电路板的各个安装区域中形成的图案的多个位置值;(c)根据所述印刷电路板的各个安装区域中形成的图案的多个位置值的平均值,确定所述印刷电路板的各个安装区域中形成的图案的最终位置值;(d)通过在所述接合台中使用所述第一可视系统,检查所述印刷电路板的一些安装区域或者形成在所述印刷电路板上的基准标记;和(e)通过对所述预对准单元中的最终位置值和所述接合台中的检查位置值执行绘图工艺,获得将要安装在所述接合台上的印刷电路板上的每个芯片的位置值。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
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