[发明专利]蒸镀坩埚有效
| 申请号： | 201610161257.4 | 申请日： | 2016-03-21 |
| 公开（公告）号： | CN105648404B | 公开（公告）日： | 2018-11-20 |
| 发明（设计）人： | 刘亚伟;刘扬 | 申请（专利权）人： | 深圳市华星光电技术有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24 |
| 代理公司： | 深圳市德力知识产权代理事务所 44265 | 代理人： | 林才桂 |
| 地址： | 518132 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供一种蒸镀坩埚，由一金属棒经机械加工去除材料得到，在对金属棒加工过程中，保留一部分能够向坩埚中部传热的导热结构，如通过增加坩埚侧壁的内表面积，或者在坩埚内部设置导热柱或导热片等导热结构，来提高蒸镀材料与坩埚本体的接触面积，使得蒸镀材料受热均匀，蒸镀速率平稳，从而提高蒸镀效果。 | ||
| 搜索关键词： | 坩埚 | ||
【主权项】：
1.一种蒸镀坩埚，其特征在于，包括坩埚底(10)以及与所述坩埚底(10)相连的侧壁(20)，所述侧壁(20)与所述坩埚底(10)围成一中空腔室，所述中空腔室包括数个相连通且延伸方向与所述侧壁(20)的延伸方向一致的盲孔(23)，所述侧壁(20)的内表面包括数个向侧壁(20)内部凹陷的第一弧形表面(21)，该数个第一弧形表面(21)分别为所述数个盲孔(23)的孔壁的一部分；所述蒸镀坩埚还包括位于所述中空腔室内且底端部与所述坩埚底(10)相连的一导热柱(30)，所述导热柱(30)的侧表面由数个向导热柱(30)内部凹陷的第二弧形表面(31)围成，该数个第二弧形表面(31)分别为所述数个盲孔(23)的孔壁的一部分，即分别与所述数个第一弧形表面(21)位于相同的盲孔(23)上；所述数个为至少3个。
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