[发明专利]蒸镀坩埚

说明书

本发明提供一种蒸镀坩埚，由一金属棒经机械加工去除材料得到，在对金属棒加工过程中，保留一部分能够向坩埚中部传热的导热结构，如通过增加坩埚侧壁的内表面积，或者在坩埚内部设置导热柱或导热片等导热结构，来提高蒸镀材料与坩埚本体的接触面积，使得蒸镀材料受热均匀，蒸镀速率平稳，从而提高蒸镀效果。

技术领域

本发明涉及显示技术领域，尤其涉及一种蒸镀坩埚。

背景技术

OLED是一种极具发展前景的平板显示技术，它具有十分优异的显示性能，特别是自发光、结构简单、超轻薄、响应速度快、宽视角、低功耗及可实现柔性显示等特性，被誉为“梦幻显示器”，再加上其生产设备投资远小于TFT-LCD，得到了各大显示器厂家的青睐，已成为显示技术领域中第三代显示器件的主力军。目前OLED已处于大规模量产的前夜，随着研究的进一步深入，新技术的不断涌现，OLED显示器件必将有一个突破性的发展。

OLED有机材料的薄膜制备有两种工艺路线。对于高分子OLED材料，采用溶液成膜方式，这种工艺目前还处于试验研究阶段。对于小分子OLED材料，目前普遍采用真空热蒸镀的成膜方式，这种工艺路线被平板显示行业的大多数工厂采用，比如三星、LG等。真空热蒸镀技术是在低于5×10^-5Pa的真空环境下，通过加热的方式将材料由固态变为蒸气状态，高速运动的气态分子到达玻璃基板并在基板上沉积固化，再变回为OLED材料的固体薄膜。对于熔融型材料，其受热后，会由固态变为液态，最后变为气态分子，这类型材料对于坩埚内部的形状并没有太高的要求，因为液态物质会到处流动，可以保持与坩埚内壁的充分接触。而对于升华型材料，其受热后，会直接由固态转化为气态分子。由于固态物质缺乏流动性，所以在材料受热升华的过程中极有可能发生如图1所示的情况。从图1中可以看出，材料100受热后，与坩埚内壁200接触的材料100升华，变成气态分子跑掉，剩下的固态物质无法流动，从而剩余材料100无法与坩埚内壁200充分接触，导致升华的速率不稳。如果设备运行在速率固定模式下，为保持升华速率，设备会不断加热以提高温度，这样极有可能超过材料100的裂解温度，导致材料变质。

发明内容

本发明的目的在于提供一种蒸镀坩埚，可提高蒸镀材料与坩埚本体的接触面积，使得蒸镀材料受热均匀，蒸镀速率平稳，从而提高蒸镀效果。

为实现上述目的，本发明提供一种蒸镀坩埚，包括坩埚底以及与所述坩埚底相连的侧壁，所述侧壁与所述坩埚底围成一中空腔室，所述中空腔室包括数个相连通且延伸方向与所述侧壁的延伸方向一致的盲孔，所述侧壁的内表面包括数个向侧壁内部凹陷的第一弧形表面，该数个第一弧形表面分别为所述数个盲孔的孔壁的一部分。

当所述中空腔室由至少3个盲孔组成，即所述侧壁的内表面包括至少3个第一弧形表面时，所述蒸镀坩埚还包括位于所述中空腔室内且底端部与所述坩埚底相连的一导热柱，所述导热柱的侧表面由数个向导热柱内部凹陷的第二弧形表面围成，该数个第二弧形表面分别为所述数个盲孔的孔壁的一部分，即分别与所述数个第一弧形表面位于相同的盲孔上；所述导热柱的高度不超过所述侧壁的高度的三分之二。

所述蒸镀坩埚由一金属棒经机械加工去除材料得到。

本发明还提供另一种蒸镀坩埚，包括坩埚底、与所述坩埚底相连的侧壁、以及位于所述侧壁与坩埚底围成的中空腔室内且底端部与所述坩埚底相连的导热柱。

所述导热柱的高度不超过所述侧壁的高度的三分之二；所述侧壁为圆筒形，所述导热柱为圆柱形，且位于所述侧壁的轴心位置。

所述蒸镀坩埚由一金属棒经机械加工去除材料得到。

本发明还提供又一种蒸镀坩埚，包括坩埚底、与所述坩埚底相连的侧壁、以及位于所述侧壁与坩埚底围成的中空腔室内且底端部与所述坩埚底相连的数个不连续的导热片。

所述侧壁为圆筒形，所述数个导热片为位于与所述侧壁同轴心的一圆筒上的数个弧形导热片；所述导热片的高度不超过所述侧壁的高度的三分之二。