[发明专利]金刚线单晶硅棒切方设备

摘要

本发明涉及单晶硅棒加工专用切割设备，旨在提供金刚线单晶硅棒切方设备。该金刚线单晶硅棒切方设备包括大底架、龙门架、排线安装架、张力电机安装架、张力电机、张力臂、工作台头座、工作台尾座、排线部件、收放线部件、线偏检测部件、进刀单元、过渡导轮、张力导轮，工作台头座和工作台尾座之间用于夹持晶棒，且能够控制晶棒沿工作台头座和工作台尾座的轴线旋转。本发明结构紧凑，布局合理；本发明采用金刚石线锯切割，切割刀痕小，切割面质量高，大大减少了原材料的损耗；本发明大大改善了工作环境，实现了环保生产。

主权项

金刚线单晶硅棒切方设备，包括大底架、龙门架、排线安装架、张力电机安装架、张力电机、张力臂、工作台头座、工作台尾座、排线部件、收放线部件、线偏检测部件、进刀单元、过渡导轮、张力导轮，其特征在于，所述龙门架设有两个，分别为左龙门架和右龙门架；所述排线安装架设有两个，分别为左排线安装架和右排线安装架；所述张力电机安装架设有两个，分别为左张力电机安装架和右张力电机安装架；所述张力电机设有两个，分别为左张力电机和右张力电机；所述张力臂设有两个，分别为左张力臂和右张力臂；所述过渡导轮设有五个，分别为第一过渡导轮、第二过渡导轮、第三过渡导轮、第四过渡导轮和第五过渡导轮；所述张力导轮设有两个，分别为左张力导轮和右张力导轮；所述进刀单元设有四个，分别为第一进刀单元、第二进刀单元、第三进刀单元和第四进刀单元；所述排线部件设有两个，分别为左排线部件和右排线部件，排线部件用于将金刚石线均匀排布在收放线部件上；所述收放线部件设有两个，分别为左收放线部件和右收放线部件，收放线部件用于实现金刚石线的往复运动；所述线偏检测部件设有两个，分别为左线偏检测部件和右线偏检测部件，线偏检测部件用于检测收放线部件上的金刚石线是否均匀分布；所述左排线安装架安装在大底架的左侧，左排线部件安装在左排线安装架的上方；所述左收放线部件安装在左排线部件的上方；所述左龙门架安装在大底架的左上方，左张力电机安装架安装在左龙门架的上方，左线偏检测部件安装在左龙门架的外侧，第一进刀单元和第四进刀单元安装在左龙门架的内侧；第一进刀单元上安装有第一进刀导轮，第一进刀单元能够独立控制第一进刀导轮在竖直方向上的进刀速度和进刀深度；第四进刀单元上安装有第四进刀导轮，第四进刀单元能够独立控制第四进刀导轮在竖直方向上的进刀速度和进刀深度；所述左张力电机安装架上安装有第一过渡导轮、第二过渡导轮、左张力电机、左张力臂，所述左张力导轮安装在左张力臂上；所述右排线安装架安装在大底架的右侧，右排线部件安装在右排线安装架的上方；所述右收放线部件安装在右排线部件的上方；所述右龙门架安装在大底架的右上方，右张力电机安装架安装在右龙门架的上方，右线偏检测部件安装在右龙门架的外侧，第二进刀单元和第三进刀单元安装在右龙门架的内侧；第二进刀单元上安装有第二进刀导轮，第二进刀单元能够独立控制第二进刀导轮在竖直方向上的进刀速度和进刀深度；第三进刀单元上安装有第三进刀导轮，第三进刀单元能够独立控制第三进刀导轮在竖直方向上的进刀速度和进刀深度；所述右张力电机安装架上安装有第三过渡导轮、第四过渡导轮、右张力电机、右张力臂，所述右张力导轮安装在右张力臂上；所述第五过渡导轮安装在左龙门架和右龙门架之间，第五过渡导轮上设有测速装置，能够对金刚石线的线速度进行实时检测获取；所述工作台头座和工作台尾座安装在大底架的正上方，工作台头座和工作台尾座之间用于夹持晶棒，且能够控制晶棒沿工作台头座和工作台尾座的轴线旋转。