[发明专利]一种用于CSP共晶焊接的压合装置在审
申请号: | 201610103728.6 | 申请日: | 2016-02-26 |
公开(公告)号: | CN105575858A | 公开(公告)日: | 2016-05-11 |
发明(设计)人: | 贾辰宇;孙智江 | 申请(专利权)人: | 海迪科(南通)光电科技有限公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67;B23K37/04 |
代理公司: | 北京一格知识产权代理事务所(普通合伙) 11316 | 代理人: | 滑春生 |
地址: | 226500 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明涉及一种用于CSP共晶焊接的压合装置,所述压合装置包括一压板,且在所述压板的下表面均匀分布有垂直向下的T型探针;所述压板上均匀分布有若干个与T型探针一一对应的圆孔,在所述圆孔内设有横截面为T型的套筒,且套筒的内腔开有一贯穿的通孔;在所述套筒的上端设有调节装置,下端设有T型探针,且在所述调节装置和T型探针之间连有缓冲弹簧;在所述套筒的底端还连有一限位套。本发明的优点在于:本发明用于CSP共晶焊接的压合装置,既保证了芯片共晶精度,也保证了CSP成品的合格率,进而提高了CSP成品的性能。 | ||
搜索关键词: | 一种 用于 csp 焊接 装置 | ||
【主权项】:
一种用于CSP共晶焊接的压合装置,所述压合装置包括一压板,在所述压板的下表面均匀分布有垂直向下的T型探针,其特征在于:所述压板上均匀分布有若干个与T型探针一一对应的圆孔,在所述圆孔内设有横截面为T型的套筒,且套筒的内腔开有一贯穿的通孔;在所述套筒的上端设有调节装置,该调节装置包括调节手轮和调节杆,且调节杆的下端插入套筒的通孔内,并与通孔螺纹连接;在所述套筒的下端设有T型探针,且T型探针的上端插入套筒的通孔内,且在所述调节装置和T型探针之间连有缓冲弹簧;在所述套筒的底端还连有一限位套,所述限位套为圆柱形的罩筒,其底端带有端盖,且端盖中心设有一中心孔,该中心孔的内径与T型探针的下端外径相同。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造