[发明专利]一种超宽谱光探测器有效
申请号: | 201610094847.X | 申请日: | 2016-02-22 |
公开(公告)号: | CN107104167B | 公开(公告)日: | 2019-02-15 |
发明(设计)人: | 贺军辉;曹阳;孙家林;杨花 | 申请(专利权)人: | 中国科学院理化技术研究所 |
主分类号: | H01L31/101 | 分类号: | H01L31/101;H01L31/18 |
代理公司: | 北京正理专利代理有限公司 11257 | 代理人: | 张文祎;赵晓丹 |
地址: | 100190 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本发明公开一种超宽谱光探测器。该探测器包括光敏材料和电极,其中光敏材料为自支撑还原氧化石墨烯薄膜,电极为金属。探测器结构是使自支撑还原氧化石墨烯薄膜处于悬空状态,金属电极与还原氧化石墨烯薄膜连接即可。该探测器工作在室温空气中;探测谱段范围广,可实现从紫外至太赫兹光谱范围的探测;探测器对从紫外至太赫兹的所有谱段的响应速度快,均为毫秒量级;制备简单、成本低廉,在实际应用中具有广阔前景。 | ||
搜索关键词: | 一种 超宽谱光 探测器 | ||
【主权项】:
1.一种超宽谱光探测器,其特征在于:所述探测器包括光敏材料和电极;所述光敏材料为自支撑还原氧化石墨烯薄膜,所述电极为金属电极;所述自支撑还原氧化石墨烯薄膜处于悬空状态,金属电极与自支撑还原氧化石墨烯薄膜连接即构成超宽光谱探测器;其中,所述自支撑还原氧化石墨烯薄膜的制备方法包括如下步骤:1)将氧化石墨烯分散于乙醇中,配制成质量浓度为0.2~1.0 mg/mL的氧化石墨烯分散液;2)将步骤1)制得的氧化石墨烯分散液滴涂在具有微纳结构的基底上,制得铺展在具有微纳结构的基底上的氧化石墨烯薄膜;3)将所述铺展在具有微纳结构的基底上的氧化石墨烯薄膜在空气中自然晾干后,置于氩气和氢气的混合气氛中,保持气压50~500Pa、200~1000℃热处理2~5h,制得与具有微纳结构的基底相同面积、相同形状、且能从基底上完整脱离的自支撑还原氧化石墨烯薄膜;所述具有微纳结构的基底为硅纳米线阵列基底。
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H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
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