[发明专利]一种超宽谱光探测器有效

专利信息
申请号: 201610094847.X 申请日: 2016-02-22
公开(公告)号: CN107104167B 公开(公告)日: 2019-02-15
发明(设计)人: 贺军辉;曹阳;孙家林;杨花 申请(专利权)人: 中国科学院理化技术研究所
主分类号: H01L31/101 分类号: H01L31/101;H01L31/18
代理公司: 北京正理专利代理有限公司 11257 代理人: 张文祎;赵晓丹
地址: 100190 *** 国省代码: 北京;11
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摘要:
搜索关键词: 一种 超宽谱光 探测器
【权利要求书】:

1.一种超宽谱光探测器,其特征在于:所述探测器包括光敏材料和电极;所述光敏材料为自支撑还原氧化石墨烯薄膜,所述电极为金属电极;所述自支撑还原氧化石墨烯薄膜处于悬空状态,金属电极与自支撑还原氧化石墨烯薄膜连接即构成超宽光谱探测器;其中,所述自支撑还原氧化石墨烯薄膜的制备方法包括如下步骤:

1)将氧化石墨烯分散于乙醇中,配制成质量浓度为0.2~1.0 mg/mL的氧化石墨烯分散液;

2)将步骤1)制得的氧化石墨烯分散液滴涂在具有微纳结构的基底上,制得铺展在具有微纳结构的基底上的氧化石墨烯薄膜;

3)将所述铺展在具有微纳结构的基底上的氧化石墨烯薄膜在空气中自然晾干后,置于氩气和氢气的混合气氛中,保持气压50~500Pa、200~1000℃热处理2~5h,制得与具有微纳结构的基底相同面积、相同形状、且能从基底上完整脱离的自支撑还原氧化石墨烯薄膜;

所述具有微纳结构的基底为硅纳米线阵列基底。

2.根据权利要求1所述的一种超宽谱光探测器,其特征在于:步骤2)中,滴涂的具体过程为:滴涂分多个循环完成,每个循环滴涂2~3次,每次滴涂按照每平方厘米基底25~35 μL取液,每个循环需干燥后再进行下一个循环。

3.根据权利要求1所述的一种超宽谱光探测器,其特征在于:步骤2)中,所述具有微纳结构的基底指表面具有微米级或纳米级或微纳米级共存的微观结构的基底。

4.根据权利要求1所述的一种超宽谱光探测器,其特征在于:步骤3)中,所述氩气和氢气的混合气氛中氩气的体积百分比为95%,氢气的体积百分比为5%。

5.根据权利要求1所述的一种超宽谱光探测器,其特征在于:所述金属电极为叉指金电极、叉指铜电极或者镍平行电极。

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