[发明专利]劳埃德镜干涉微小尺度测量装置

摘要

本发明公开了一种劳埃德镜干涉微小尺度测量装置。它包括光源、透镜、狭缝装置、平面镜、光电转化装置、数据处理模块、杠杆联动装置和底板，所述光源发出的光经透镜、狭缝装置和平面镜后在光屏上产生干涉条纹，所述光电转化装置的探测头与光屏连接，所述光电转化装置输出端与数据处理模块输入端电连接，所述平面镜通过导向装置安装于杠杆联动装置的一端顶部，杠杆联动装置的另一端底部设置载物台，所述杠杆联动装置和导向装置均固定于底板上。本发明利用机械杠杆原理将待测物的微小尺度反映在平面镜与狭缝的垂直距离上，结构简单、测量方便快捷、效率高，具有很高的精度和较强实用性。

主权项

一种劳埃德镜干涉微小尺度测量装置，包括光源(1)、透镜(2)、狭缝装置(3)、平面镜(4)和光屏(5)，所述光源(1)发出的光经透镜(2)、狭缝装置(3)和平面镜(4)后在光屏(5)上产生干涉条纹，其特征在于：还包括光电转化装置(10)、数据处理模块(11)、杠杆联动装置(9)和底板(12)，所述光电转化装置(10)的探测头与光屏(5)连接，所述光电转化装置(10)输出端与数据处理模块(11)输入端电连接，所述平面镜(4)通过导向装置(8)安装于杠杆联动装置(9)的一端顶部，杠杆联动装置(9)的另一端底部设置载物台(6)，所述杠杆联动装置(9)和导向装置(8)均固定于底板(12)上；所述杠杆联动装置(9)包括支座(9.1)、转轴(9.2)、支板(9.3)、支架(9.4)和旋转块(9.5)，所述支座(9.1)固定于底板(12)上，所述转轴(9.2)固定于支座(9.1)上，所述旋转块(9.5)套在转轴(9.2)上，所述支板(9.3)和支架(9.4)分别固定于旋转块(9.5)两端，支板(9.3)上设有刻度线，所述平面镜(4)通过导向装置(8)安装于支架(9.4)上，所述载物台(6)设置于支板(9.3)底部。