[发明专利]劳埃德镜干涉微小尺度测量装置

权利要求书

1.一种劳埃德镜干涉微小尺度测量装置，包括光源(1)、透镜(2)、狭缝装置(3)、平面镜(4)和光屏(5)，所述光源(1)发出的光经透镜(2)、狭缝装置(3)和平面镜(4)后在光屏(5)上产生干涉条纹，其特征在于：还包括光电转化装置(10)、数据处理模块(11)、杠杆联动装置(9)和底板(12)，所述光电转化装置(10)的探测头与光屏(5)连接，所述光电转化装置(10)输出端与数据处理模块(11)输入端电连接，所述平面镜(4)通过导向装置(8)安装于杠杆联动装置(9)的一端顶部，杠杆联动装置(9)的另一端底部设置载物台(6)，所述杠杆联动装置(9)和导向装置(8)均固定于底板(12)上；

所述杠杆联动装置(9)包括支座(9.1)、转轴(9.2)、支板(9.3)、支架(9.4)和旋转块(9.5)，所述支座(9.1)固定于底板(12)上，所述转轴(9.2)固定于支座(9.1)上，所述旋转块(9.5)套在转轴(9.2)上，所述支板(9.3)和支架(9.4)分别固定于旋转块(9.5)两端，支板(9.3)上设有刻度线，所述平面镜(4)通过导向装置(8)安装于支架(9.4)上，所述载物台(6)设置于支板(9.3)底部。

2.根据权利要求1所述的劳埃德镜干涉微小尺度测量装置，其特征在于：所述导向装置(8)包括横杆(8.1)、竖杆(8.2)和圆柱筒(8.3)，所述圆柱筒(8.3)固定于底板(12)上，圆柱筒(8.3)中心沿轴向开有贯穿的通孔(8.4)，圆柱筒(8.3)侧壁中部沿径向开有贯穿的导向孔(8.5)，通孔(8.4)与导向孔(8.5)连通，所述横杆(8.1)穿过圆柱筒上的导向孔，横杆两端套在支架(9.4)上，所述竖杆(8.2)底部伸入到圆柱筒的通孔内与圆柱筒内部的横杆(8.1)固定连接，所述平面镜(4)固定于竖杆(8.2)顶部。

3.根据权利要求2所述的劳埃德镜干涉微小尺度测量装置，其特征在于：所述导向孔(8.5)沿竖直方向的尺寸大于横杆(8.1)沿竖直方向的尺寸，导向孔(8.5)沿水平方向的尺寸等于横杆(8.1)沿水平方向的尺寸。

4.根据权利要求2所述的劳埃德镜干涉微小尺度测量装置，其特征在于：所述支架(9.4)包括固定板(9.6)和两个侧安装板(9.7)，所述固定板(9.6)固定于旋转块(9.5)一侧，两个侧安装板(9.7)分别固定于固定板(9.6)两侧并垂直于固定板，侧安装板(9.7)上开有滑孔(9.8)，所述横杆(8.1)两端分别位于两个侧安装板的滑孔(9.8)内。

5.根据权利要求4所述的劳埃德镜干涉微小尺度测量装置，其特征在于：所述滑孔(9.8)沿竖直方向的尺寸等于横杆(8.1)沿竖直方向的尺寸，滑孔(9.8)沿水平方向的尺寸大于横杆(8.1)沿水平方向的尺寸。

6.根据权利要求1所述的劳埃德镜干涉微小尺度测量装置，其特征在于：所述支座(9.1)位于支板底部的一侧设有导轨(13)，所述载物台(6)安装于导轨(13)上。

7.根据权利要求1所述的劳埃德镜干涉微小尺度测量装置，其特征在于：所述光电转化装置(10)为光电探测仪。