[发明专利]集成结型场效应管逆变器的太阳能电池板的制造方法

摘要

本发明公开了一种集成结型场效应管逆变器的太阳能电池板的制造方法，包括步骤一、提供一绝缘衬套，其内设置有矩形凹腔，在所述凹腔的底部配置第一导电型的衬底；步骤二、在所述衬底的上端配置第二导电型的外延层；步骤三、在所述外延层的上部配置两个第一导电型的体区，每一个所述体区上配置有第一栅极，在所述衬底底部对应配置有第二栅极，每一个所述体区两侧的所述外延层上分别配置漏极和源极；步骤四、形成四个独立的结型场效应管；步骤五、将电池板底部与所述衬套底部连接；步骤六、将电池板与漏极和源极连接。本发明解决了太阳能电池板交直流电能转换不便的技术问题。

主权项

一种集成结型场效应管逆变器的太阳能电池板的制造方法，其特征在于，包括以下步骤：步骤一、提供一绝缘衬套，其内设置有矩形凹腔，在所述凹腔的底部配置第一导电型的衬底；步骤二、在所述衬底的上端配置第二导电型的外延层，所述外延层的上端与所述凹腔的上端齐平；步骤三、在所述外延层的上部配置两个第一导电型的体区，每一个所述体区上配置有第一栅极，在所述衬底底部对应配置有第二栅极，每一个所述体区两侧的所述外延层上分别配置漏极和源极；步骤四、在所述衬底和外延层上的宽度方向开设有第一绝缘沟道，同时在所述衬底和外延层上的长度方向开设有第二绝缘沟道，所述第一、第二绝缘沟道的深度与所述凹腔的深度一致，且所述第二绝缘沟道贯穿所述第一栅极、源极和漏极，形成四个独立的结型场效应管；步骤五、将电池板底部与所述衬套底部连接；步骤六、将所述电池板的上电极分别与第一和第三个场效应管的漏极连接，将第一个场效应管的源极与第二个场效应管的漏极连接，将第三个场效应管的源极与第四个场效应管的漏极连接，将第二和第四个场效应管的源极分别与所述电池板的下电极连接。