[发明专利]集成结型场效应管逆变器的太阳能电池板的制造方法

权利要求书

1.一种集成结型场效应管逆变器的太阳能电池板的制造方法，其特征在于，包括以下步骤：

步骤一、提供一绝缘衬套，其内设置有矩形凹腔，在所述凹腔的底部配置第一导电型的衬底；

步骤二、在所述衬底的上端配置第二导电型的外延层，所述外延层的上端与所述凹腔的上端齐平；

步骤三、在所述外延层的上部配置两个第一导电型的体区，每一个所述体区上配置有第一栅极，在所述衬底底部对应配置有第二栅极，每一个所述体区两侧的所述外延层上分别配置漏极和源极；

步骤四、在所述衬底和外延层上的宽度方向开设有第一绝缘沟道，同时在所述衬底和外延层上的长度方向开设有第二绝缘沟道，所述第一、第二绝缘沟道的深度与所述凹腔的深度一致，且所述第二绝缘沟道贯穿所述第一栅极、源极和漏极，形成四个独立的结型场效应管；

步骤五、将电池板底部与所述衬套底部连接；

步骤六、将所述电池板的上电极分别与第一和第三个场效应管的漏极连接，将第一个场效应管的源极与第二个场效应管的漏极连接，将第三个场效应管的源极与第四个场效应管的漏极连接，将第二和第四个场效应管的源极分别与所述电池板的下电极连接。

2.如权利要求1所述的集成结型场效应管逆变器的太阳能电池板的制造方法，其特征在于，两个所述体区间隔配置在所述外延层的长度方向，且所述体区的长度与所述外延层的宽度一致。

3.如权利要求2所述的集成结型场效应管逆变器的太阳能电池板的制造方法，其特征在于，所述步骤四中还包括在所述衬套上端表面间隔配置有四个二极管。

4.如权利要求3所述的集成结型场效应管逆变器的太阳能电池板的制造方法，其特征在于，在所述外延层和衬套上表面设置有第一绝缘层，所述二极管、第一栅极、源极和漏极突出于所述第一绝缘层，且所述第一绝缘层填充所述第一和第二绝缘沟道。

5.如权利要求4所述的集成结型场效应管逆变器的太阳能电池板的制造方法，其特征在于，每一个所述结型场效应管的源极和漏极之间连接一个所述二极管。

6.如权利要求5所述的集成结型场效应管逆变器的太阳能电池板的制造方法，其特征在于，在每一个所述结型场效应管下端的衬套上设置有凹槽，其贯穿所述衬套底部，每一个所述凹槽中配置有一个第二栅极，其与所述衬底底部接触且向下突出于所述衬套底部，每一个所述第二栅极分别向衬套底部两端延伸。

7.如权利要求6所述的集成结型场效应管逆变器的太阳能电池板的制造方法，其特征在于，在所述衬套底部设置有第二绝缘层，其覆盖所述第二栅极的底部。

8.如权利要求7所述的集成结型场效应管逆变器的太阳能电池板的制造方法，其特在征于，所述电池板包括：N区、P区、上电极和下电极，N区的上表面覆盖设置有防反射膜，同时在所述N区的上端设置有所述上电极，将所述P区的上表面与所述N区的底部贴合设置，在所述P区的下表面设置有所述下电极，将所述下电极固定在所述第二绝缘层的上端。

9.如权利要求8所述的集成结型场效应管逆变器的太阳能电池板的制造方法，其特在征于，在所述电池板长度方向的一侧设置有第三绝缘层，其覆盖所述电池板的一侧壁。

10.如权利要求9所述的集成结型场效应管逆变器的太阳能电池板的制造方法，其特在征于，将所述上电极和所述第一、第三个场效应管的漏极通过第一导电层连接，将所述下电极和所述第二、第四个场效应管的源极通过第二导电层连接，所述第一导电层覆盖在所述第三绝缘层和衬套的外侧壁上。