[发明专利]一种有机金属化合物伴生物的收集装置及气相沉积系统

摘要

本发明公开了一种有机金属化合物伴生物的收集装置及气相沉积系统，涉及气相沉积技术领域。该收集装置包括外壳，所述外壳的两端设有气体进口和气体出口，所述外壳内壁上分层固定有多个挡板，所述挡板与进气方向夹角小于180°，每个挡板上均设有开口，不同挡板之间的间隙以及挡板上的开口构成流动通道，所述流动通道的截面面积沿气体的流动方向逐渐增大，相邻的所述挡板上的开口相互错开设置。本发明提出的有机金属化合物伴生物的收集装置及气相沉积系统，能够沉积不同的伴生物，减少后续滤芯的负担，延长滤芯的使用寿命，且该收集装置能够重复利用，节约成本。

主权项

一种有机金属化合物伴生物的收集装置，包括外壳(1)，所述外壳(1)的两端设有气体进口(2)和气体出口(3)，其特征在于，所述外壳(1)内壁上分层固定有多个挡板(4)，所述挡板(4)与进气方向夹角小于180°，每个挡板(4)上均设有开口(5)，不同挡板(4)之间的间隙以及挡板(4)上的开口(5)构成流动通道，所述流动通道的截面面积沿气体的流动方向逐渐增大，相邻的所述挡板(4)上的开口(5)相互错开设置，并且所述外壳(1)为相互扣合的两部分，两部分所述外壳(1)分离处为清洁口(6)，所述清洁口(6)贯穿气体进口(2)的端面和气体出口(3)的端面。