[发明专利]一种有机金属化合物伴生物的收集装置及气相沉积系统

权利要求书

1.一种有机金属化合物伴生物的收集装置，包括外壳(1)，所述外壳(1)的两端设有气体进口(2)和气体出口(3)，其特征在于，所述外壳(1)内壁上分层固定有多个挡板(4)，所述挡板(4)与进气方向夹角小于180°，每个挡板(4)上均设有开口(5)，不同挡板(4)之间的间隙以及挡板(4)上的开口(5)构成流动通道，所述流动通道的截面面积沿气体的流动方向逐渐增大，相邻的所述挡板(4)上的开口(5)相互错开设置，并且所述外壳(1)为相互扣合的两部分，两部分所述外壳(1)分离处为清洁口(6)，所述清洁口(6)贯穿气体进口(2)的端面和气体出口(3)的端面。

2.根据权利要求1所述的有机金属化合物伴生物的收集装置，其特征在于，在气体进口(2)到气体出口(3)之间，所述挡板(4)相互平行设置，且所述挡板(4)与进气方向垂直，随着挡板(4)逐渐远离气体进口(2)，相邻挡板(4)之间的距离逐渐增大。

3.根据权利要求1或2所述的有机金属化合物伴生物的收集装置，其特征在于，随着挡板(4)逐渐远离气体进口(2)，所述挡板(4)上的开口(5)尺寸逐渐增大。

4.根据权利要求3所述的有机金属化合物伴生物的收集装置，其特征在于，所述开口(5)为挡板(4)边缘和外壳(1)内壁之间形成的缺口。

5.根据权利要求4所述的有机金属化合物伴生物的收集装置，其特征在于，所述相邻挡板(4)上的开口(5)相互远离。

6.根据权利要求3所述的有机金属化合物伴生物的收集装置，其特征在于，所述开口(5)为所述挡板(4)上的通孔。

7.根据权利要求1所述的有机金属化合物伴生物的收集装置，其特征在于，相互扣合的两部分外壳(1)以中轴线所在的面为对称面相互对称。

8.根据权利要求7所述的有机金属化合物伴生物的收集装置，其特征在于，相互扣合的两部分外壳(1)之间相互铰接。

9.一种气相沉积系统，包括沿气体流向设置的反应腔、滤芯和干泵，其特征在于，还包括权利要求1-8任意一项所述的有机金属化合物伴生物的收集装置，所述收集装置位于所述反应腔和滤芯之间。