[发明专利]一种用于气相包覆的装置和方法

摘要

本发明涉及一种用于气相包覆的装置，包括用于盛放液体前躯体的罐体，其顶部设置有进气管、进液管和出气管，其底部设置有加热板；出气管设置有喷头，喷头插入反应腔体的一侧中，反应腔体的另一侧通过冷凝装置与引风设备连接；液体前躯体通过进液管进入到罐体内，在罐体内挥发形成气体后，和通过进气管进入罐体的气体混合，再进入出气管，并由喷头喷入到反应腔体内，与反应腔内的包覆对象进行包覆反应；在包覆反应过程中，由冷凝装置冷凝反应腔体内产生的尾气，及由引风设备将未冷凝的气体及时排出。同时本发明还提供了进行气相包覆的方法。采用本发明中的装置和方法能够实现快速、定量且高度安全可控的使用液相或气液复合前驱体的气相包覆。

主权项

1.一种用于气相包覆的装置，其特征在于，包括：用于盛放液体前躯体的罐体(2)，所述罐体(2)的顶部设置有进气管(7)、进液管(8)和出气管(9)，所述罐体(2)的底部设置有加热板(4)；所述出气管(9)设置有喷头(11)，所述喷头(11)插入反应腔体(12)的一侧中，所述反应腔体(12)的另一侧通过冷凝装置(13)与引风设备(14)连接；液体前躯体通过所述进液管(8)进入到所述罐体(2)内，在所述罐体(2)内挥发形成气体后，和通过所述进气管(7)进入所述罐体(2)的气体混合，再进入所述出气管(9)，并由所述喷头(11)喷入到所述反应腔体(12)内，与所述反应腔内的包覆对象进行包覆反应；其中，所述进气管(7)的末端具有多个微孔；在包覆反应过程中，由所述冷凝装置(13)对所述反应腔体(12)内未反应的液体前驱体冷凝回收，及由所述引风设备(14)将反应生成的却未冷凝的气体及时排出；所述装置还包括：温控表和压力表及安全阀(10)；其中，所述温控表与所述加热板(4)连接，控制所述加热板(4)的加热温度和功率，使罐体(2)内部温度维持在室温至500℃；所述压力表及安全阀(10)外接泄压管道，用于监控及设定设备压力，在罐体内压力超标时自动切断装置电源；所述装置还包括底部支架(6)，所述底部支架(6)位于所述加热板(4)底部；所述底部支架(6)设置有称重模块，所述称重模块用于监控所述罐体(2)内的液体前躯体的质量变化。