[发明专利]一种用于气相包覆的装置和方法

权利要求书

1.一种用于气相包覆的装置，其特征在于，包括：用于盛放液体前躯体的罐体(2)，所述罐体(2)的顶部设置有进气管(7)、进液管(8)和出气管(9)，所述罐体(2)的底部设置有加热板(4)；所述出气管(9)设置有喷头(11)，所述喷头(11)插入反应腔体(12)的一侧中，所述反应腔体(12)的另一侧通过冷凝装置(13)与引风设备(14)连接；

液体前躯体通过所述进液管(8)进入到所述罐体(2)内，在所述罐体(2)内挥发形成气体后，和通过所述进气管(7)进入所述罐体(2)的气体混合，再进入所述出气管(9)，并由所述喷头(11)喷入到所述反应腔体(12)内，与所述反应腔内的包覆对象进行包覆反应；其中，所述进气管(7)的末端具有多个微孔；在包覆反应过程中，由所述冷凝装置(13)对所述反应腔体(12)内未反应的液体前驱体冷凝回收，及由所述引风设备(14)将反应生成的却未冷凝的气体及时排出；

所述装置还包括：温控表和压力表及安全阀(10)；其中，所述温控表与所述加热板(4)连接，控制所述加热板(4)的加热温度和功率，使罐体(2)内部温度维持在室温至500℃；所述压力表及安全阀(10)外接泄压管道，用于监控及设定设备压力，在罐体内压力超标时自动切断装置电源；

所述装置还包括底部支架(6)，所述底部支架(6)位于所述加热板(4)底部；所述底部支架(6)设置有称重模块，所述称重模块用于监控所述罐体(2)内的液体前躯体的质量变化。

2.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述罐体(2)承受的最高压力为6MPa。

3.一种气相包覆的方法，使用如权利要求1所述的装置，其特征在于，所述方法包括：

S10，在罐体中加入液体前驱体，反应腔体内加入包覆对象；

S20，加热板通电进行加热，直至罐体内部温度到达所述液体前驱体的沸点以上的预设温度；

S30，加热反应腔体，待温度达到所述液体前躯体的裂解温度后，打开进气管和出气管，通入所需气体，包覆反应进行，同时打开引风设备及冷凝装置；

S40，待气体流量达到总量要求时，加热板停止加热，同时关闭进气管，待罐体内温度自然降温后，关闭出气管；

S50，反应腔体停止加热，待温度自然降温后，关闭引风设备及冷凝装置。

4.根据权利要求3所述的方法，其特征在于，在加入液体前驱体之前需确保罐体内部温度不超过所述液体前驱体的沸点。

5.根据权利要求3所述的方法，其特征在于，在包覆反应过程中，罐体内部温度不低于所述液体前驱体的沸点。

6.根据权利要求3所述的方法，其特征在于，所述液体前驱体为气相包覆的原材料，挥发后在预设温度下分解固化。

7.根据权利要求3所述的方法，其特征在于，所述气体包括不参与反应的载气和部分参与反应的气体。