[发明专利]集束离子束装置有效
| 申请号： | 201610069206.9 | 申请日： | 2016-02-01 |
| 公开（公告）号： | CN105845533B | 公开（公告）日： | 2019-09-03 |
| 发明（设计）人： | 八坂行人;小堺智一;松田修;杉山安彦;相田和男;荒卷文朗;大庭弘 | 申请（专利权）人： | 日本株式会社日立高新技术科学 |
| 主分类号： | H01J37/08 | 分类号： | H01J37/08;H01J37/305 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 李辉;黄纶伟 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供集束离子束装置，其搭载有能够使从更高亮度的气体电场电离离子源释放的离子沿着离子光学系统的光轴长时间稳定持续释放，且能够长时间形成集束离子束的气体电场电离离子源集。在搭载有具有释放离子的发射极的气体电场电离离子源的集束离子束装置中，发射极采取使尖锐化的铱和异类金属细线固定而成的形状。 | ||
| 搜索关键词： | 集束 离子束 装置 | ||
【主权项】：
1.一种集束离子束装置，其至少搭载有具有释放离子的发射极的气体电场电离离子源，其特征在于，所述发射极是将由铱制成的尖锐化的前端部固定在由异类金属细线制成的圆柱体形状的基部而成的形状。
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