[发明专利]集束离子束装置有效
| 申请号: | 201610069206.9 | 申请日: | 2016-02-01 |
| 公开(公告)号: | CN105845533B | 公开(公告)日: | 2019-09-03 |
| 发明(设计)人: | 八坂行人;小堺智一;松田修;杉山安彦;相田和男;荒卷文朗;大庭弘 | 申请(专利权)人: | 日本株式会社日立高新技术科学 |
| 主分类号: | H01J37/08 | 分类号: | H01J37/08;H01J37/305 |
| 代理公司: | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人: | 李辉;黄纶伟 |
| 地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 集束 离子束 装置 | ||
【说明书】:
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