[发明专利]不锈钢真空多弧离子镀膜专用卧式连体炉在审
| 申请号： | 201610063209.1 | 申请日： | 2016-01-31 |
| 公开（公告）号： | CN105648406A | 公开（公告）日： | 2016-06-08 |
| 发明（设计）人： | 李晓马 | 申请（专利权）人： | 李晓马 |
| 主分类号： | C23C14/32 | 分类号： | C23C14/32;C23C14/56 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 528000 广东省佛山*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明涉及不锈钢真空多弧离子镀膜专用卧式连体炉，在2台扩散泵上方的冷却井的上方设置一个H型连通管道，管道上方分别设置一个高阀，高阀用于连接扩散泵与2个炉体，在2个高阀分别设置2条抽低真空的抽气管道，管道上分别设有控制开闭管道的粗抽阀，2条管道经过并流后与1200罗茨泵、70泵相连。因此，抽低真空的泵组可以分别给两个炉体抽真空，抽高真空的泵组可以分别给两个炉体抽真空。 | ||
| 搜索关键词： | 不锈钢 真空 离子 镀膜 专用 卧式 连体 | ||
【主权项】：
不锈钢真空多弧离子镀膜专用卧式连体炉，其特征在于：在2台扩散泵（8）上方的冷却井（2）的上方设置一个H型连通管道，所述的H型连通管道上方分别设置一个高阀（10），高阀分别用于连接扩散泵与2个炉体，炉（1）连接高阀（10）的管道上安装有粗抽阀（9），连接扩散泵（8）的管道上安装有600罗茨泵（7），600罗茨泵（7）的右下部安装有30泵（6）。
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