[发明专利]不锈钢真空多弧离子镀膜专用卧式连体炉

说明书

技术领域

本发明涉及不锈钢真空多弧离子镀膜专用卧式连体炉，利用一套真空泵组给两个真空镀色炉交替抽真空工作,主要应用于不锈钢板真空镀膜生产加工领域。

背景技术

目前，常规的不锈钢镀色炉都是一套单体炉形式，一个镀色炉单独配一套真空泵组,这样的结构与组合形式有以下缺点:1、占用空间大；2、设备多,成本高；3、能耗高。因此，针对以上缺陷，对现有的不锈钢真空多弧离子镀膜卧式炉结构和配置进行合适改进，使之更合理与节能高效。

发明内容

针对以上缺陷，本发明提供一套新型不锈钢真空镀膜专用连体炉，最主要的优点是：结构紧凑、成本低，节省空间，能耗低。

本发明不锈钢真空多弧离子镀膜专用卧式连体炉采用的技术方案：在2台扩散泵上方的冷却井的上方设置一个H型连通管道，管道上方分别设置一个高阀，高阀用于连接扩散泵与2个炉体，在2个高阀侧分别设置2条抽低真空的抽气管道，管道上分别设有控制开闭管道的粗抽阀，2条管道经过并流后与1200罗茨泵、70泵相连。因此，抽低真空的泵组可以分别给两个炉体抽真空，抽高真空的泵组可以分别给两个炉体抽真空。

本发明不锈钢真空镀膜专用连体炉主要优点有：

1、结构紧凑，布局合理。

2、节省空间、成本低。

3、能耗低。

附图说明

图1为本发明不锈钢真空多弧离子镀膜专用卧式连体炉的整体结构示意图。

附图标记说明：1-炉，2-冷却井，3-前置阀，4-1200罗茨泵，5-70泵，6-30泵，7-600罗茨泵，8-扩散泵，9-粗抽阀，10-高阀。

具体实施方式

下面结合附图及具体实施例对本发明作进一步的详细说明。

为了更容易理解本发明，下面以具体实施例详细说明本发明的实施方式。

如图1所示，本发明不锈钢真空多弧离子镀膜专用卧式连体炉，在2台扩散泵（8）上方的冷却井（2）的上方设置一个H型连通管道，所述的H型连通管道上方分别设置一个高阀（10），高阀分别用于连接扩散泵与2个炉体，在2个高阀侧分别设置2条抽低真空的抽气管道，管道上分别设有控制开闭管道的粗抽阀（9），2条管道经过并流后与1200罗茨泵（4）、70泵（5）相连；在2扩散泵（8）的底部分别设有抽气管道，所述的抽气管道经过汇流后与600罗茨泵（7）连通，所述的600罗茨泵的底部与1台70泵、一台30泵连通，70泵作为600泵的粗抽泵，30泵作为其维持泵。

综上所述，本发明所述的内容及其具体实施方式，仅是为了以举例的方式清楚的说明本发明的实质和内涵，并非以局限的方式限定在本发明构思基础之上的变化方式之外，本领域的技术人员能够在本发明的构思基础上，任意的改变，但是如其基于发明思路结合本领域的公知常识及惯用手段，仍然属于本发明的保护范围之内。