[发明专利]金刚石涂层机械密封环的制备方法

摘要

本发明公开了一种金刚石涂层机械密封环的制备方法，以硬质合金、碳化硅/氮化硅陶瓷机械密封环为基体，通过热丝化学气相沉积法在机械密封环的工作表面沉积金刚石薄膜。具体工艺方法为：首先在基体表面沉积一层晶粒粗壮、耐磨损性能优异但不易抛光的微米金刚石薄膜，再通过改变工艺参数在微米金刚石颗粒间沉积细化的纳米金刚石颗粒，以填充粗壮微米金刚石颗粒间的凹陷部位，达到降低金刚石涂层表面粗糙度，便于后续研磨抛光的目的。本发明通过两步沉积法得到的金刚石涂层机械密封环，可大幅降低接触端面的磨损率，其工作寿命较未涂层机械密封环大幅提升。

主权项

一种金刚石涂层机械密封环的制备方法，其特征在于，采用经过预处理的硬质合金或碳化硅/氮化硅陶瓷机械密封环作为涂层基体，通过平行热丝排布方式在机械密封环的工作表面沉积金刚石薄膜。