[发明专利]抛光液加热装置及抛光温度控制方法在审
| 申请号： | 201610040624.5 | 申请日： | 2016-01-21 |
| 公开（公告）号： | CN105538128A | 公开（公告）日： | 2016-05-04 |
| 发明（设计）人： | 夏秋良 | 申请（专利权）人： | 苏州新美光纳米科技有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/015 | 分类号： | B24B37/015;B24B57/02;F24H1/10;F24H9/18;F24H9/20 |
| 代理公司： | 无锡市大为专利商标事务所(普通合伙) 32104 | 代理人： | 曹祖良;张涛 |
| 地址： | 215123 江苏省苏州市苏州工*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种加热装置及方法，尤其是一种抛光液加热装置及抛光温度控制方法，属于晶片抛光的技术领域。按照本发明提供的技术方案，所述抛光液加热装置，包括抛光液输送管；在所述抛光液输送管的末端设置用于对抛光液输送管内的抛光液进行加热的抛光液加热器，在抛光液输送管的管道出口处设置用于检测抛光液温度的抛光液温度检测器，所述抛光液温度检测器以及抛光液加热器均与加热控制器连接，所述加热控制器还与用于检测抛光环境温度的抛光环境温度检测器；本发明结构紧凑，能有效实现对晶片抛光过程的温度控制，提高晶片抛光的质量及速度，适应范围广，安全可靠。 | ||
| 搜索关键词： | 抛光 加热 装置 温度 控制 方法 | ||
【主权项】：
一种抛光液加热装置，包括抛光液输送管（4）；其特征是：在所述抛光液输送管（4）的末端设置用于对抛光液输送管（4）内的抛光液进行加热的抛光液加热器，在抛光液输送管（4）的管道出口处设置用于检测抛光液温度的抛光液温度检测器（6），所述抛光液温度检测器（6）以及抛光液加热器均与加热控制器连接，所述加热控制器还与用于检测抛光环境温度的抛光环境温度检测器；抛光环境温度检测器能向加热控制器抛光环境温度，抛光液温度检测器（6）能向加热控制器传输抛光液输送管（4）出口处的抛光液温度，加热控制器将抛光液温度、抛光环境温度与所述加热控制器内的抛光预置温度比较，并控制抛光液加热器的加热状态，直至使得抛光环境温度与抛光预置温度相一致。
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