[发明专利]抛光液加热装置及抛光温度控制方法

权利要求书

1.一种抛光液加热装置，包括抛光液输送管（4）；其特征是：在所述抛光液输送管（4）的末端设置用于对抛光液输送管（4）内的抛光液进行加热的抛光液加热器，在抛光液输送管（4）的管道出口处设置用于检测抛光液温度的抛光液温度检测器（6），所述抛光液温度检测器（6）以及抛光液加热器均与加热控制器连接，所述加热控制器还与用于检测抛光环境温度的抛光环境温度检测器；

抛光环境温度检测器能向加热控制器抛光环境温度，抛光液温度检测器（6）能向加热控制器传输抛光液输送管（4）出口处的抛光液温度，加热控制器将抛光液温度、抛光环境温度与所述加热控制器内的抛光预置温度比较，并控制抛光液加热器的加热状态，直至使得抛光环境温度与抛光预置温度相一致。

2.根据权利要求1所述的抛光液加热装置，其特征是：所述抛光液加热器包括两个用于对抛光液进行加热的加热板（5），所述加热板（5）间具有抛光液流动的加热空隙，，所述加热板（5）为半导体加热器、电阻丝加热器或水浴加热器。

3.根据权利要求1所述的抛光液加热装置，其特征是：所述抛光液加热器包括呈对称分布的夹板（7），在所述夹板（7）间设置若干用于对抛光液进行加热的加热柱（8）。

4.根据权利要求1所述的抛光液加热装置，其特征是：所述抛光液加热器包括缠绕在抛光液输送管（4）上的加热线圈（9）或允许抛光液输送管（4）缠绕的加热棒（10）。

5.根据权利要求1所述的抛光液加热装置，其特征是：所述抛光液加热器包括套在抛光液输送管（4）外的加热介质管，所述加热介质管与抛光液输送管（4）间具有与抛光液进行温度交换的高温加热介质。

6.根据权利要求1所述的抛光液加热装置，其特征是：所述抛光液输送管（4）上还设有调整输送管（11），所述调整输送管（11）与抛光液输送管（4）相连通，抛光液加热器能对抛光液输送管（4）内的抛光液以及调整输送管（11）内的调整液体进行加热。

7.一种晶片用抛光液的抛光温度控制方法，其特征是，所述抛光温度控制方法包括如下步骤：

（a）、在所述抛光液输送管（4）的末端设置用于对抛光液输送管（4）内的抛光液进行加热的抛光液加热器，并在抛光液输送管（4）的管道出口处设置用于检测抛光液温度的抛光液温度检测器（6）；

所述抛光液温度检测器（6）以及抛光液加热器均与加热控制器连接，所述加热控制器还与用于检测抛光环境温度的抛光环境温度检测器；

（b）、加热控制器将抛光液温度、抛光环境温度与所述加热控制器内的抛光预置温度比较，并控制抛光液加热器的加热状态，直至使得抛光环境温度与抛光预置温度相一致。

8.根据权利要求7所述晶片用抛光液的抛光温度控制方法，其特征是：所述抛光液加热器包括缠绕在抛光液输送管（4）上的加热线圈（9）或允许抛光液输送管（4）缠绕的加热棒（10）。

9.根据权利要求7所述晶片用抛光液的抛光温度控制方法，其特征是：所述抛光液输送管（4）上还设有调整输送管（11），所述调整输送管（11）与抛光液输送管（4）相连通，抛光液加热器能对抛光液输送管（4）内的抛光液以及调整输送管（11）内的调整液体进行加热；

抛光液温度检测器（6）检测抛光液输送管（4）出口处的液体温度，加热控制器将液体温度、抛光环境温度与所述加热控制器内的抛光预置温度比较，并控制抛光液加热器的加热状态，直至使得抛光环境温度与抛光预置温度相一致。