[发明专利]一种基于多梁比对结构的MEMS微梁应力梯度的测试结构和测量方法

摘要

本发明公开一种基于多梁比对结构的MEMS微梁应力梯度的测试结构和测量方法，包括衬底、三条矩形锚区、八根被测悬臂梁和四根固定在衬底上的参考梁。所述三条矩形锚区从左至右相互平行的依次排列，并固定在衬底的上表面上；所述长度相同的八根被测悬臂梁和四根参考梁被分为完全相同的四组，每组由相互平行的两根被测悬臂梁和一根参考梁组成，整个结构关于中心纵横轴完全对称。当悬臂梁因应力梯度的存在而产生向上或向下的弯曲时，通过显微观测和比对各被测梁两两间的间距变化，即可确定被测悬臂梁的弯曲程度，获取应力梯度信息。多组梁的多种比对，使测量结果更加准确可靠。本测试方法降低了对观测设备的要求，直观、方便。

主权项

1.一种基于多梁比对结构的MEMS微梁应力梯度的测试结构,其特征在于：包括衬底、三条矩形锚区、八根被测悬臂梁和四根参考梁；所述三条矩形锚区从左至右相互平行的依次排列，形成最左边矩形锚区、最右边矩形锚区、中间矩形锚区，并固定在衬底的上表面上；所述八根被测悬臂梁和四根参考梁的长度和形状相同，被分为完全相同的四组梁，每组梁由平行放置的两根被测悬臂梁和一根参考梁组成，参考梁位于两根被测悬臂梁的正中间，并且参考梁固定连接在衬底表面上；所述四组梁的第一组梁固定在最左边矩形锚区的右侧面上，第二组梁和第三组梁分别固定在中间矩形锚区的左、右两侧面上，第四组梁固定在最右边矩形锚区的左侧面上；所述整个测试结构关于中心纵横轴完全对称。