[发明专利]一种基于多梁比对结构的MEMS微梁应力梯度的测试结构和测量方法

权利要求书

1.一种基于多梁比对结构的MEMS微梁应力梯度的测试结构,其特征在于：包括衬底、三条矩形锚区、八根被测悬臂梁和四根参考梁；

所述三条矩形锚区从左至右相互平行的依次排列，形成最左边矩形锚区、最右边矩形锚区、中间矩形锚区，并固定在衬底的上表面上；

所述八根被测悬臂梁和四根参考梁的长度和形状相同，被分为完全相同的四组梁，每组梁由平行放置的两根被测悬臂梁和一根参考梁组成，参考梁位于两根被测悬臂梁的正中间，并且参考梁固定连接在衬底表面上；

所述四组梁的第一组梁固定在最左边矩形锚区的右侧面上，第二组梁和第三组梁分别固定在中间矩形锚区的左、右两侧面上，第四组梁固定在最右边矩形锚区的左侧面上；

所述整个测试结构关于中心纵横轴完全对称。

2.根据权利要求1所述一种基于多梁比对结构的MEMS微梁应力梯度的测试结构的测试方法,其特征在于：具体步骤如下：

1)将释放工序前、后的测试结构分别置于光学显微镜下进行观察，放大倍数根据测试结构的尺寸而定，调节显微镜的焦距直至测试结构的图像清晰可见，分别记录测试结构释放工序前后的俯视图像；

2)观测和分析显微图像，将各被测悬臂梁与相邻的参考梁进行比对，测量释放前后两者的长度是否相同；相同表明无应力梯度存在，反之存在应力梯度，测量并记录两者的差；

3)观测和分析显微图像，比对两组梁中对应梁之间的间距变化，分别测量四对梁末端之间的间距，与相邻的参考梁末端之间的间距比对，无差异表明不存在应力梯度，反之有应力梯度存在，测量并记录差异；

4)综合2)和3)的测试结果，相互印证，合理取值，获取更加可靠的测试结果。