[发明专利]用于净化集成半导体废气的装置在审
| 申请号： | 201610023976.X | 申请日： | 2016-01-14 |
| 公开（公告）号： | CN106492598A | 公开（公告）日： | 2017-03-15 |
| 发明（设计）人： | 金德俊;朴祥濬;全东根;李纪龙;申铉昱;文奎栋 | 申请（专利权）人： | 全球标准技术有限公司 |
| 主分类号： | B01D53/32 | 分类号： | B01D53/32;B01D53/00;B01D53/68;B01D47/06;B01D53/70;F23G7/06 |
| 代理公司： | 北京度衡知识产权代理有限公司11601 | 代理人： | 钟锦舜 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 提供净化集成半导体废气的装置，其包括盖子，其包括安装在其上以产生火焰的燃烧器和多个在燃烧器圆周上形成以使废气从中流过的废气入口管；反应器，其包括在其上形成的上开口和下开口以使盖子与上开口可拆卸地连接，越向其下部直径越小的逐渐变细的会聚部件，竖直地配置以与会聚部件的顶部连通的输送管，其中形成水帘以防止副产物的积累，以燃烧和排放流入废气；和在反应器中一体地形成的清洁部分以水清洁通过输送管以收集颗粒之后排放到反应器中的燃烧废气。由于燃烧器、反应器和洗涤器一体地形成，因此能够使上述装置的体积最小，能够增加装置的定期维修的容易性和能量的节省。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 净化 集成 半导体 废气 装置 | ||
【主权项】：
用于净化半导体废气的装置，其包括：盖子，其包括安装在其上以产生火焰的燃烧器和多个在所述燃烧器的圆周上形成以使废气从中流过的废气入口管；反应器，其包括在其上形成的上开口和下开口以使盖子与所述上开口可拆卸地连接，越向其下部直径越小的逐渐变细的会聚部件，竖直地配置以与所述会聚部件的顶部连通的输送管，其中形成水帘以防止副产物的积累，以燃烧和排放流入废气；在反应器中一体地形成的清洁部以水清洁通过所述输送管以收集颗粒之后排放到所述反应器中的燃烧废气。
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