[发明专利]用于净化集成半导体废气的装置在审
| 申请号： | 201610023976.X | 申请日： | 2016-01-14 |
| 公开（公告）号： | CN106492598A | 公开（公告）日： | 2017-03-15 |
| 发明（设计）人： | 金德俊;朴祥濬;全东根;李纪龙;申铉昱;文奎栋 | 申请（专利权）人： | 全球标准技术有限公司 |
| 主分类号： | B01D53/32 | 分类号： | B01D53/32;B01D53/00;B01D53/68;B01D47/06;B01D53/70;F23G7/06 |
| 代理公司： | 北京度衡知识产权代理有限公司11601 | 代理人： | 钟锦舜 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 用于 净化 集成 半导体 废气 装置 | ||
【权利要求书】：
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