[发明专利]用于中大口径非球面快速抛亮的等离子体抛光装置

摘要

本发明公开了用于中大口径非球面快速抛亮的等离子体抛光装置，由等离子体源、机器人、密封部件、氩氟废气处理部件、电气控制系统、底座、抛光工作台、待加工光学零件、氮气进气部件组成；机器人、待加工光学零件和抛光工作台置于底座上，等离子体源位于待加工光学零件上方，待加工光学零件装夹在抛光工作台上，机器人控制等离子体源的运动姿态，使等离子体源始终与待加工光学零件表面垂直；密封部件采用整体密封结构，与外界大气隔离；整个装置的抛光由电气控制系统控制；氮气进气部件可充入实验要求浓度的氮气，氩氟废气处理部件将处理过的废气排入大气中。主要优点是：采用机器人控制，可方便实现加工操作仪器化，可工程化生产应用。

主权项

用于中大口径非球面快速抛亮的等离子体抛光装置，其特征在于：它由等离子体源（1）、机器人（2）、密封部件（3）、氩氟废气处理部件（4）、电气控制系统（5）、底座（6）、抛光工作台（7）、待加工光学零件（8）、氮气进气部件（9）组成；机器人（2）、待加工光学零件（8）和抛光工作台（7）置于底座（6）上，等离子体源（1）位于待加工光学零件（8）的上方，待加工光学零件（8）装夹在抛光工作台（7）上，机器人（2）可控制等离子体源（1）的运动姿态，使等离子体源（1）始终与待加工光学零件（8）表面垂直；密封部件（3）采用整体密封结构，与外界大气隔离；整个装置的抛光由电气控制系统（5）控制；氮气进气部件（9）可充入实验要求浓度的氮气，保证等离子体源（1）的有效工作；氩氟废气处理部件（4）将处理过的废气进行无害处理排入大气中。