[发明专利]用于中大口径非球面快速抛亮的等离子体抛光装置

权利要求书

1.用于中大口径非球面快速抛亮的等离子体抛光装置，其特征在于：它由等离子体源 （1）、机器人（2）、密封部件（3）、氩氟废气处理部件（4）、电气控制系统（5）、底座（6）、抛光工 作台（7）、待加工光学零件（8）、氮气进气部件（9）组成；机器人（2）、待加工光学零件（8）和抛 光工作台（7）置于底座（6）上，等离子体源（1）位于待加工光学零件（8）的上方，待加工光学 零件（8）装夹在抛光工作台（7）上，机器人（2）可控制等离子体源（1）的运动姿态，使等离子 体源（1）始终与待加工光学零件（8）表面垂直；密封部件（3）采用整体密封结构，与外界大气 隔离；整个装置的抛光由电气控制系统（5）控制；氮气进气部件（9）可充入实验要求浓度的 氮气，保证等离子体源（1）的有效工作；氩氟废气处理部件（4）将处理过的废气进行无害处 理排入大气中。

2.根据权利要求1所述的用于中大口径非球面快速抛亮的等离子体抛光装置，其特征 在于：所述机器人（2）可控制等离子体源（1）的运动姿态，使等离子体源（1）始终与待加工光 学零件（8）表面垂直，保证等离子体抛光的准确去除函数，达到高效可控加工目的。

3.根据权利要求1所述的用于中大口径非球面快速抛亮的等离子体抛光装置，其特征 在于：所述待加工光学零件（8）的材质为石英玻璃。