[发明专利]处理液过滤装置、药液供给装置和处理液过滤方法

摘要

本发明提供药液供给装置。在对从药液供给源经由药液流路和喷嘴向被处理体供给药液的药液供给装置中所使用的处理液进行过滤时使作业时间缩短。药液供给装置包括分别用于贮存处理液的第一密闭容器(31)和第二密闭容器(32)，在从第一和第二密闭容器(31、32)中的一者向另一者输送处理液的流路设置有过滤器部(4)。从第一和第二密闭容器的一者向另一者输送处理液时，由于处理液通过过滤器部(4)而将处理液中的异物除去。此外，第一和第二密闭容器间的处理液的送液通过对移动目的地的密闭容器进行减压来进行，所以与使用泵输送处理液的情况相比，处理液的每单位时间的移动量变多，处理液的过滤处理所需要的作业时间缩短。

主权项

一种处理液过滤装置，其是对处理液进行过滤的装置，所述处理液是从药液供给源经由药液流路和喷嘴对被处理体供给药液的药液供给装置中所使用的所述药液或者将所述药液流路清洗的清洗液，所述处理液过滤装置的特征在于，包括：分别用于贮存所述处理液的第一密闭容器和第二密闭容器；对所述第一密闭容器的气相部进行减压的第一减压部；对所述第二密闭容器的气相部进行减压的第二减压部；用于从所述第一密闭容器对所述第二密闭容器输送处理液的第一处理液流路；用于从所述第二密闭容器对所述第一密闭容器输送处理液的第二处理液流路；和过滤器部，其设置于所述第一处理液流路和第二处理液流路中的至少一者，用于除去处理液中的异物。