[发明专利]用于修整抛光垫的方法在审

专利信息
申请号: 201610006176.7 申请日: 2016-01-05
公开(公告)号: CN105773422A 公开(公告)日: 2016-07-20
发明(设计)人: V·杜奇克;T·奥尔布里希;L·米斯图尔;M·施纳普奥夫 申请(专利权)人: 硅电子股份公司
主分类号: B24B53/017 分类号: B24B53/017;B24B37/24
代理公司: 永新专利商标代理有限公司 72002 代理人: 蔡洪贵
地址: 德国*** 国省代码: 德国;DE
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摘要: 一种用于利用至少一个修整器(4)修整一块抛光布或同时修整两块抛光垫(11、12)的方法,其中,已将抛光布(11、12)施加于抛光板(21、22),该至少一个修整器(4)配备有至少一个修整元件(8),该至少一个修整元件(8)与待修整的至少一块抛光布(11、12)相接触,其中,至少一块抛光板(21、22)以相对旋转速度旋转,并且在同时修整两块抛光垫(11、12)的期间或者在抛光板(21)的一块抛光布(11)和至少一个修整器(4)的修整期间实现两对抛光板(21、22)和针轮(31、32)的旋转方向的至少两种不同的组合。
搜索关键词: 用于 修整 抛光 方法
【主权项】:
一种用于利用至少一个修整器(4)修整一块抛光布或同时修整两块抛光垫(11、12)的方法,其中,已将所述抛光布(11、12)施加于抛光板(21、22),所述至少一个修整器(4)配备有至少一个修整元件(8),所述至少一个修整元件(8)与待修整的至少一块抛光布(11、12)相接触,其中,使所述至少一块抛光板(21、22)以相对旋转速度旋转,使所述至少一个修整器(4)以相对旋转速度旋转,并且在同时修整两块抛光垫(11、12)的期间实现两对抛光板(21、22)和针轮(31、32)的旋转方向的至少两种不同的组合,或者在修整所述抛光板(21)的一块抛光布(11)的期间实现所述抛光布(11)和所述至少一个修整器(4)的旋转方向的至少两种不同的组合。
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