[发明专利]用于修整抛光垫的方法

权利要求书

1.一种用于利用至少一个修整器(4)修整一块抛光布或同时修整两块 抛光垫(11、12)的方法，其中，已将所述抛光布(11、12)施加于抛光 板(21、22)，所述至少一个修整器(4)配备有至少一个修整元件(8)， 所述至少一个修整元件(8)与待修整的至少一块抛光布(11、12)相接触， 其中，使所述至少一块抛光板(21、22)以相对旋转速度旋转，使所述至 少一个修整器(4)以相对旋转速度旋转，并且在同时修整两块抛光垫(11、 12)的期间实现两对抛光板(21、22)和针轮(31、32)的旋转方向的至 少两种不同的组合，或者在修整所述抛光板(21)的一块抛光布(11)的 期间实现所述抛光布(11)和所述至少一个修整器(4)的旋转方向的至少 两种不同的组合。

2.根据权利要求1所述的方法，其中，在同时修整两块抛光垫(11、12) 时，通过包括内部齿轮(31)和外部齿轮(32)的滚动装置使所述至少一 个修整器(4)旋转。

3.根据权利要求2所述的方法，其中，使所述抛光板(21、22)分别沿 着相反的旋转方向(ω21、ω22)旋转，和/或使所述针轮(31、32)分别沿 着相反的旋转方向(ω31、ω32)旋转。

4.根据权利要求2所述的方法，其中，使所述两对抛光板(21、22)和 针轮(31、32)中的至少一对的旋转方向(ω21、ω22、ω31、ω32)在所述 修整期间至少反向一次。

5.根据权利要求2所述的方法，其中，使所述两对抛光板(21、22)和 针轮(31、32)中的仅一对的旋转方向(ω21、ω22、ω31、ω32)在所述修 整期间同时反向。

6.根据权利要求1所述的方法，其中，当仅修整一块抛光布(11)时， 至少使所述抛光板(21)的旋转方向(ω21)或所述修整器(4)的旋转方 向(ω4)反向一次。

7.根据权利要求1所述的方法，其中，当仅修整一块抛光布时，至少使 所述抛光板(21)的旋转方向(ω21)和所述修整器(4)的旋转方向(ω4) 反向一次。

8.根据前述权利要求中的任一项所述的方法，其中，将覆盖有一个或多 个修整元件(8)的盘或环用作修整器(4)

9.根据前述权利要求中的任一项所述的方法，其中，所述修整元件(8) 具有覆盖有金刚石的表面。

10.根据前述权利要求中的任一项所述的方法，其中，同时使用一个至 五个修整器(4)。

11.根据前述权利要求中的任一项所述的方法，其中，同时使用至少三 个修整器(4)。

12.根据前述权利要求中的任一项所述的方法，其中，所述抛光垫(11、 12)为泡沫抛光垫。

13.根据权利要求12所述的方法，其中，将由聚氨酯形成的抛光垫用作 泡沫抛光垫。

14.根据权利要求2或3所述的方法，其中，将所述上部抛光板(22) 和所述下部抛光板(21)的彼此面对的表面设定成是彼此平面平行的。

15.根据权利要求2、3或14所述的方法，其中，所述修整器(4)具有 间隙，并且在这些间隙中，设有能够自由移动的和/或固定的修整元件(8)。

16.根据前述权利要求中的任一项所述的方法，其中，在修整期间将修 整剂、尤其是液体施加于所述抛光垫(11、12)。