[发明专利]激光腔室

摘要

抑制激光的性能恶化。激光腔室具有：第1放电电极；第2放电电极；风扇，其使激光气体向第1放电电极和第2放电电极之间的放电空间流动；第1绝缘部件，其配置在第1放电电极的激光气体流的上游侧和下游侧；第1金属缓冲部件，其配置在第2放电电极的激光气体流的上游侧；第2绝缘部件，其配置在第2放电电极的激光气体流的下游侧；以及第2金属缓冲部件，其配置在第2绝缘部件的激光气体流的下游侧，在第2金属缓冲部件和第2绝缘部件的边界部分中，第2金属缓冲部件的放电空间侧的第1表面相比于第2绝缘部件的放电空间侧的第2表面，位于与放电空间相反的一侧，第2金属缓冲部件的第2绝缘部件侧的第1侧面和第1表面所形成的第1角部可以与第2绝缘部件的第2金属缓冲部件侧的第2侧面接触。

主权项

一种放电激励式气体激光装置的激光腔室，其具有：第1放电电极，其配置在所述激光腔室内；第2放电电极，其在所述激光腔室内与所述第1放电电极对置地配置；风扇，其使激光气体向所述第1放电电极和所述第2放电电极之间的放电空间流动；第1绝缘部件，其配置在所述第1放电电极的激光气体流的上游侧和下游侧；第1金属缓冲部件，其配置在所述第2放电电极的所述激光气体流的上游侧；第2绝缘部件，其配置在所述第2放电电极的所述激光气体流的下游侧；以及第2金属缓冲部件，其配置在所述第2绝缘部件的所述激光气体流的下游侧，在所述第2金属缓冲部件和所述第2绝缘部件的边界部分中，所述第2金属缓冲部件的所述放电空间侧的第1表面相比于所述第2绝缘部件的所述放电空间侧的第2表面，位于与所述放电空间相反的一侧，所述第2金属缓冲部件的所述第2绝缘部件侧的第1侧面和所述第1表面所形成的第1角部与所述第2绝缘部件的所述第2金属缓冲部件侧的第2侧面接触。