[发明专利]用于测量沉积速率的测量组件及其方法在审
| 申请号： | 201580080972.9 | 申请日： | 2015-06-17 |
| 公开（公告）号： | CN107810410A | 公开（公告）日： | 2018-03-16 |
| 发明（设计）人： | 乔斯·曼纽尔·迭格斯-坎波;卡尔·阿尔伯特·凯姆;斯蒂芬·班格特;海克·兰特格雷夫 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | G01N29/02 | 分类号： | G01N29/02;G01N29/036;C23C14/24;C23C14/54 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司11006 | 代理人： | 徐金国,赵静 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 描述一种用于测量已蒸发材料的沉积速率的测量组件(100)。测量组件(100)包括用于测量沉积速率的振荡晶体(110)和用于固持振荡晶体(110)的固持器(120)，其中固持器包括具有高于k＝30W/(mK)的热传导系数k的材料。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 测量 沉积 速率 组件 及其 方法 | ||
【主权项】：
一种用于测量已蒸发材料的沉积速率的测量组件(100)，包括：振荡晶体(110)，用于测量所述沉积速率；以及固持器(120)，用于固持所述振荡晶体(110)，其中所述固持器包括具有高于k＝30W/(mK)的热传导系数k的材料。
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