[发明专利]用于测量沉积速率的测量组件及其方法

权利要求书

1.一种用于测量已蒸发材料的沉积速率的测量组件(100)，包括：

振荡晶体(110)，用于测量所述沉积速率；以及

固持器(120)，用于固持所述振荡晶体(110)，其中所述固持器包括具有高于k＝30W/(mK)的热传导系数k的材料。

2.根据权利要求1所述的测量组件(100)，其中所述固持器(120)的所述材料是从由以下材料组成的群组中选择的至少一种材料：铜、铝、铜合金、铝合金、黄铜、铁、银、银合金、金、金合金、镁、钨、硅碳化物和氮化铝。

3.根据权利要求1或2所述的测量组件(100)，还包括热交换器(132)，用于与所述振荡晶体(110)交换热。

4.根据权利要求1至3任一项所述的测量组件(100)，还包括温度传感器(131)，用于测量所述振荡晶体(110)的温度。

5.根据权利要求1至4任一项所述的测量组件(100)，还包括温度控制系统(130)，用于控制所述振荡晶体(110)的温度，特定地是其中所述温度控制系统(130)包括温度传感器(131)、热交换器(132)和控制器(133)中的一个或多个。

6.根据权利要求1至5任一项所述的测量组件(100)，还包括遮板(140)，特定地是可移动遮板，用于阻挡由测量出口(150)提供的所述已蒸发材料，所述测量出口用于将所述已蒸发材料提供至所述振荡晶体(110)。

7.根据权利要求6所述的测量组件(100)，其中所述遮板(140)包括热防护屏蔽件(141)，用于保护所述振荡晶体(110)免受所述已蒸发材料的温度的影响。

8.根据权利要求6或7所述的测量组件(100)，其中所述遮板(140)包括至少一个冷却部件(142)，特定地是用于提供冷却流体的至少一个管道，用于冷却所述遮板(140)。

9.一种用于材料蒸发的蒸发源(200)，包括：

蒸发坩锅(210)，其中所述蒸发坩锅被构造为蒸发材料；

分配管道(220)，具有一个或多个出口(222)，所述一个或多个出口沿着所述分配管道的长度而提供，用于提供已蒸发材料，其中所述分配管道(220)与所述蒸发坩锅(210)流体连通；以及

根据权利要求1-8中任一项所述的测量组件(100)。

10.根据权利要求9所述的蒸发源(200)，还包括测量出口(150)，用于将所述已蒸发材料提供至所述测量组件(100)的所述振荡晶体(110)。

11.根据权利要求10所述的蒸发源(200)，其中所述测量出口被构造为提供从由所述蒸发源提供的总流量的1/70至由所述蒸发源所提供的总流量的1/25的测量流量。

12.根据权利要求11所述的蒸发源(200)，其中所述测量出口(150)和所述测量组件(100)布置在所述分配管道(200)的端部，特定地是布置在所述分配管道(220)的所述端部的背侧(224A)。

13.一种用于在真空腔室(310)中以沉积速率将材料施加至基板(333)的沉积设备(300)，包括根据权利要求9至12中任一项所述的至少一个蒸发源(200)。

14.一种用于测量已蒸发材料的沉积速率的方法(400)，包括：

蒸发(400)材料；

将所述已蒸发材料的第一部分施加(420)至基板；

将所述已蒸发材料的第二部分转移(430)至振荡晶体(110)；以及

通过使用根据权利要求1至9中任一项所述的测量组件(100)测量(440)所述沉积速率。

15.根据权利要求14所述的方法，其中测量(420)所述沉积速率包括与所述测量组件(10)交换热，特定地是通过温度控制系统(130)与所述测量组件(10)交换热。