[发明专利]封盖的磁性存储器有效
申请号: | 201580080103.6 | 申请日: | 2015-06-19 |
公开(公告)号: | CN107667437B | 公开(公告)日: | 2021-12-24 |
发明(设计)人: | D·R·兰伯恩;O·戈隆茨卡;C·J·维甘德;P·E·海尔;M·T·拉赫曼;R·J·卡斯特利亚诺;T·班萨尔 | 申请(专利权)人: | 英特尔公司 |
主分类号: | H01L43/08 | 分类号: | H01L43/08;H01L43/12 |
代理公司: | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人: | 陈松涛;王英 |
地址: | 美国加*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 实施例包括一种装置,该装置包括:位于第一电极与第二电极之间的磁性隧道结(MTJ),磁性隧道结(MTJ)包括固定层与自由层之间的电介质层;直接接触第一电极的侧壁的电介质膜;以及经由所述电介质膜耦合到所述侧壁的金属层;其中(a)竖直轴与第一电极和第二电极以及MTJ相交,但不与金属层相交,(b)第一水平轴与金属层、电介质膜以及第一电极相交;并且(c)位于第一水平轴与MTJ之间的第二水平轴与电介质膜和第一电极相交,但不与封盖层相交。本文描述了其它实施例。 | ||
搜索关键词: | 磁性 存储器 | ||
【主权项】:
一种装置,包括:第一电极,所述第一电极在衬底上;第二电极,所述第二电极在所述第一电极与所述衬底之间;垂直磁性隧道结(pMTJ),所述垂直磁性隧道结在所述第一电极与所述第二电极之间,所述垂直磁性隧道结包括位于固定层与自由层之间的电介质层;保护膜,所述保护膜直接接触所述第一电极的侧壁;以及封盖层,所述封盖层在所述第一电极的侧壁上;其中,(a)竖直轴与所述第一电极和所述第二电极以及所述pMTJ相交,但不与所述封盖层相交,(b)正交于所述竖直轴的第一水平轴与所述封盖层、所述保护膜以及所述第一电极相交,但不与所述pMTJ相交;并且(c)位于所述第一水平轴与所述pMTJ之间的第二水平轴与所述保护膜和所述第一电极相交,但不与所述封盖层或所述pMTJ相交。
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