[发明专利]具备离子泵的带电粒子束装置有效
| 申请号： | 201580079435.2 | 申请日： | 2015-05-01 |
| 公开（公告）号： | CN107533944B | 公开（公告）日： | 2019-05-03 |
| 发明（设计）人： | 利根正纯;任田浩;大西富士夫 | 申请（专利权）人： | 株式会社日立高新技术 |
| 主分类号： | H01J37/248 | 分类号： | H01J37/248;H01J37/18;H01J37/28 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人： | 范胜杰;赵宇 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 在具备离子泵的带电粒子束装置中，能够使离子泵的电源的低频噪声充分地降低而对真空度高精度地进行计量。离子泵(2)的驱动电源部(1)构成为，具备：高压电源电路部(101‑112)，其使离子泵(2)工作；负荷电流检测电路部(130)，其对向离子泵(2)施加的负荷电流进行检测；以及消除电路部(140)，其使施加于负荷电流检测电路部(130)的低频噪声降低。 | ||
| 搜索关键词： | 离子泵 负荷电流 带电粒子束装置 低频噪声 检测电路 高压电源电路 施加 驱动电源 消除电路 对向 电源 计量 检测 | ||
【主权项】：
1.一种具备离子泵的带电粒子束装置，其具备：带电粒子束照射检测部，其将在处理室内被聚束后的带电粒子束向试样照射来检测从所述试样产生的二次带电粒子；图像处理部，其对由所述带电粒子束照射检测部检测到的二次带电粒子的检测信号进行处理，形成所述试样的二次带电粒子像；输出部，其输出由所述图像处理部处理的图像；离子泵，其将所述处理室的内部维持为真空；所述离子泵的驱动电源部；以及高压电缆，其将所述离子泵与所述驱动电源部连接，该带电粒子束装置的特征在于，所述离子泵的驱动电源部具备：高压电源电路部，其使所述离子泵工作；负荷电流检测电路部，其检测施加于所述离子泵的负荷电流；以及消除电路部，其降低施加于所述负荷电流检测电路部的低频噪声，所述高压电缆具有高压信号线和GND线，所述消除电路部具备与在所述高压电缆的高压信号线和GND线之间形成的电容同等的电容，使经由在所述高压电缆的高压信号线与GND线之间形成的电容向所述负荷电流检测电路蔓延的低频噪声降低。
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