[发明专利]具备离子泵的带电粒子束装置

权利要求书

1.一种具备离子泵的带电粒子束装置，其具备：

带电粒子束照射检测部，其将在处理室内被聚束后的带电粒子束向试样照射来检测从所述试样产生的二次带电粒子；

图像处理部，其对由所述带电粒子束照射检测部检测到的二次带电粒子的检测信号进行处理，形成所述试样的二次带电粒子像；

输出部，其输出由所述图像处理部处理的图像；

离子泵，其将所述处理室的内部维持为真空；

所述离子泵的驱动电源部；以及

高压电缆，其将所述离子泵与所述驱动电源部连接，

该带电粒子束装置的特征在于，

所述离子泵的驱动电源部具备：

高压电源电路部，其使所述离子泵工作；

负荷电流检测电路部，其检测施加于所述离子泵的负荷电流；以及

消除电路部，其降低施加于所述负荷电流检测电路部的低频噪声，

所述高压电缆具有高压信号线和GND线，所述消除电路部具备与在所述高压电缆的高压信号线和GND线之间形成的电容同等的电容，使经由在所述高压电缆的高压信号线与GND线之间形成的电容向所述负荷电流检测电路蔓延的低频噪声降低。

2.根据权利要求1所述的具备离子泵的带电粒子束装置，其特征在于，

所述离子泵的驱动电源部的所述高压电源电路部具备：

反激变压器，其在低电压侧具备MOS晶体管；

AC-DC转换部，其向所述反激变压器的低电压侧供给直流电压；

脉冲生成部，其向所述反激变压器的低电压侧的MOS晶体管的栅极供给电压脉冲；

输出电压检测电路，其检测所述反激变压器的高电压侧的输出电压；以及控制部，其根据所述输出电压检测电路所检测到的输出电压来决定电压脉冲幅度。

3.根据权利要求1或2所述的具备离子泵的带电粒子束装置，其特征在于，

所述消除电路部中电流电压转换电路和反相放大器的输出端分别连接至加法电路的输入端。

4.根据权利要求1或2所述的具备离子泵的带电粒子束装置，其特征在于，

所述消除电路部中电流电压转换电路的输出端经由反相放大器连接至差动放大器的输入端，或者电流电压转换电路的输出端经由差动放大器连接至反相放大器的输入端。

5.根据权利要求3所述的具备离子泵的带电粒子束装置，其特征在于，

所述离子泵的驱动电源部的所述消除电路部还具备振幅控制部，所述消除电路部的所述反相放大器具有可变电阻器，所述振幅控制部以所述负荷电流检测电路部中残存的低频噪声成为最小的方式，来决定所述反相放大器的所述可变电阻器的电阻值。

6.一种具备离子泵的带电粒子束装置，其具备：电子显微镜，其具备镜筒；离子泵，其将所述电子显微镜的镜筒的内部维持为真空；以及所述离子泵的驱动电源部，该带电粒子束装置的特征在于，

所述离子泵的驱动电源部具备：

高压电源电路部，其使所述离子泵工作；

负荷电流检测电路部，其检测施加到所述离子泵的负荷电流；以及

消除电路部，其降低施加于所述负荷电流检测电路部的低频噪声，

该带电粒子束装置还具备高压电缆，该高压电缆将所述离子泵和所述驱动电源部连接，并具有高压信号线和GND线，所述消除电路部具备与在所述高压电缆的高压信号线和GND线之间形成的电容同等的电容，使经由在所述高压电缆的高压信号线与GND线之间形成的电容向所述负荷电流检测电路蔓延的低频噪声降低。

7.根据权利要求6所述的具备离子泵的带电粒子束装置，其特征在于，

所述离子泵的驱动电源部的所述高压电源电路部具备：

反激变压器，其在低电压侧具备MOS晶体管；

AC-DC转换部，其向所述反激变压器的低电压侧供给直流电压；

脉冲生成部，其向所述反激变压器的低电压侧的MOS晶体管的栅极供给电压脉冲；

输出电压检测电路，其检测所述反激变压器的高电压侧的输出电压；以及控制部，其根据所述输出电压检测电路所检测到的输出电压来决定电压脉冲幅度。