[发明专利]带电粒子束装置及其真空排气方法有效
| 申请号： | 201580078052.3 | 申请日： | 2015-04-15 |
| 公开（公告）号： | CN107430972B | 公开（公告）日： | 2019-07-16 |
| 发明（设计）人： | 海老根裕太;赤津光男 | 申请（专利权）人： | 株式会社日立高新技术 |
| 主分类号： | H01J37/18 | 分类号： | H01J37/18;H01J37/16 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人： | 曾贤伟;范胜杰 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明的带电粒子束装置在将试样室(18)设为高真空状态时，从涡轮分子泵的主吸气口(11)对带电粒子枪室(1)和所述试样室进行真空排气，在将所述试样室设为低真空状态时，通过主吸气口对所述带电粒子枪室进行真空排气，并且，通过涡轮分子泵的中间吸气口(13)对所述试样室进行真空排气。进行所述涡轮分子泵的背压排气的油回转泵(7)不对所述带电粒子枪室、所述试样室进行真空排气。由此，无论是高真空状态时以及低真空状态时均能够抑制装置内部的污染，因此可以防止观察试样的污染，并可以降低到达真空度的经年劣化。 | ||
| 搜索关键词： | 带电 粒子束 装置 及其 真空 排气 方法 | ||
【主权项】：
1.一种带电粒子束装置，其特征在于，具备：带电粒子枪室，其收纳对试样照射带电粒子束的带电粒子源；配置所述试样的第1试样室；涡轮分子泵，其对所述带电粒子枪室以及所述第1试样室进行真空排气；第1排气管，其连接在所述涡轮分子泵的主吸气口与所述带电粒子枪室之间；第2排气管，其连接在所述涡轮分子泵的第1中间吸气口与所述第1试样室之间；第3排气管，其连接在所述第1试样室与所述第1排气管之间；第1阀，其对所述第2排气管进行开闭；第2阀，其对所述第3排气管进行开闭；以及第4排气管，其连接在第2中间吸气口与中间室之间，该第2中间吸气口在所述涡轮分子泵中位于比所述第1中间吸气口靠近所述主吸气口的位置，该中间室连接所述带电粒子枪室与所述第1试样室。
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