[发明专利]带电粒子束装置及其真空排气方法

权利要求书

1.一种带电粒子束装置，其特征在于，具备：

带电粒子枪室，其收纳对试样照射带电粒子束的带电粒子源；

配置所述试样的第1试样室；

涡轮分子泵，其对所述带电粒子枪室以及所述第1试样室进行真空排气；

第1排气管，其连接在所述涡轮分子泵的主吸气口与所述带电粒子枪室之间；

第2排气管，其连接在所述涡轮分子泵的第1中间吸气口与所述第1试样室之间；

第3排气管，其连接在所述第1试样室与所述第1排气管之间；

第1阀，其对所述第2排气管进行开闭；

第2阀，其对所述第3排气管进行开闭；以及

第4排气管，其连接在第2中间吸气口与中间室之间，该第2中间吸气口在所述涡轮分子泵中位于比所述第1中间吸气口靠近所述主吸气口的位置，该中间室连接所述带电粒子枪室与所述第1试样室。

2.根据权利要求1所述的带电粒子束装置，其特征在于，

所述带电粒子束装置具备：油回转泵，其对所述涡轮分子泵进行背压排气，

该油回转泵不对所述带电粒子枪室或所述第1试样室进行真空排气。

3.根据权利要求2所述的带电粒子束装置，其特征在于，

所述带电粒子束装置具备：控制部，其对所述第1阀、所述第2阀以及所述涡轮分子泵进行控制，

该控制部进行如下控制：

将所述第1试样室排气为比预定真空度高的高真空度时，在关闭所述第1阀的同时打开所述第2阀的基础上，通过所述涡轮分子泵的所述主吸气口对所述带电粒子枪室以及所述第1试样室进行真空排气，

将所述第1试样室排气为比所述预定真空度低的低真空度时，在打开所述第1阀的同时关闭所述第2阀的基础上，通过所述涡轮分子泵的所述主吸气口对所述带电粒子枪室进行真空排气，并且通过所述第1中间吸气口对所述第1试样室进行真空排气。

4.根据权利要求3所述的带电粒子束装置，其特征在于，

所述控制部进行如下控制：

将所述第1试样室排气为比所述预定真空度低的低真空度时，在关闭所述第1阀的同时打开所述第2阀的基础上，通过所述涡轮分子泵的所述主吸气口对所述第1试样室进行预排气，之后，在打开所述第1阀的同时关闭所述第2阀的基础上，通过所述涡轮分子泵的所述第1中间吸气口对所述第1试样室进行真空排气。

5.根据权利要求1所述的带电粒子束装置，其特征在于，

连接所述第1排气管与所述主吸气口处的直径形成为比连接所述第4排气管与所述第2中间吸气口处的直径大，

连接所述第4排气管与所述第2中间吸气口处的直径形成为比连接所述第2排气管与所述第1中间吸气口处的直径大。

6.根据权利要求1所述的带电粒子束装置，其特征在于，

所述带电粒子束装置具备：

第3阀，其对所述第3排气管进行开闭；以及

旁通管，其连接在所述带电粒子枪室或所述第1试样室与所述中间室之间。

7.根据权利要求1所述的带电粒子束装置，其特征在于，

在所述第1试样室的内部具备配置所述试样的第2试样室，

该第2试样室中配置有膜，该膜使对所述试样照射的带电粒子束透射，并且使所述第2试样室的真空状态从所述第1试样室的真空状态分离。

8.根据权利要求1所述的带电粒子束装置，其特征在于，

该带电粒子束装置还具备：

从所述第2排气管分支的第5排气管；以及

可变流量阀，其调整流过该第5排气管的流体的流量。