[发明专利]包含多个单独可控的写入头的光刻设备有效
| 申请号： | 201580064789.X | 申请日： | 2015-04-28 |
| 公开（公告）号： | CN107003616B | 公开（公告）日： | 2021-11-30 |
| 发明（设计）人： | S.里克特;E.盖斯勒;D.多林;S.K.拉克什马南;G.鲁道夫;M.沃尔克;M.德冈瑟 | 申请（专利权）人： | 卡尔蔡司SMT有限责任公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 邱军;王蕊瑞 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： |
本发明关于一种写入至基板晶片(300)的光刻设备(100)，其包含：光产生装置(110)，包含产生光的一个或多个光源(111、112、113)；光传递装置(120)，包含将来自光产生装置(110)的光传递至写入装置(140)的多个光波导(121 |
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| 搜索关键词： | 包含 单独 可控 写入 光刻 设备 | ||
【主权项】：
一种写入至基板晶片(300)的光刻设备(100)，包含：光产生装置(110)，包含产生光的一个或多个光源(111i，112i，113i)；光传递装置(120)，包含将来自该光产生装置(110)的光传递至写入装置(140)的多个光波导(1211‑121N)；该写入装置(140)包含多个单独可控的写入头(200i，j)，用于将来自所述一个或多个光源(111i，112i，113i)的光投射在基板晶片(300)的不同区域；传输装置(150)，在预定传输方向(x)上相对该写入装置(140)移动该基板晶片(300)；以及控制装置(170)，控制在该基板晶片(300)上的写入程序。
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