[发明专利]包含多个单独可控的写入头的光刻设备

权利要求书

1.一种写入至基板晶片(300)的光刻设备(100)，包含：

光产生装置(110)，包含产生光的一个或多个光源(111_i，112_i，113_i)；

光传递装置(120)，包含将来自该光产生装置(110)的光传递至写入装置(140)的多个光波导(121₁-121_N)；

该写入装置(140)包含多个单独可控的写入头(200_i,j)，用于将来自所述一个或多个光源(111_i，112_i，113_i)的光投射在基板晶片(300)的不同区域；

传输装置(150)，在预定传输方向上相对该写入装置(140)移动该基板晶片(300)；以及

控制装置(170)，控制在该基板晶片(300)上的写入程序，

其中所述写入头(200_i,j)每个包含：

光输入耦合装置(220)，将来自多个光波导(121₁-121_N)的光耦合至相应写入头(200_i,j)；

光学装置(230)，在该基板晶片(300)上产生由来自单独光波导(121₁-121_N)的光束(400₁-400_N)构成的光斑(420)；以及

扫描装置(240)，在横向于所述传输方向的扫描方向(506)上，在该基板晶片(300)上以扫描方式移动该光斑(420)，

其中该输入耦合装置(220)包含多个微透镜(229₁-229_N)的布置(228)和设置在所述微透镜(229₁-229_N)光学下游的望远镜光学单元(231，232，233)，其中每一个所述微透镜(229₁-229_N)设计为以放大方式成像分配给相应微透镜(229₁-229_N)的光波导(122₁-122_N)的输出，以及

其中该望远镜光学单元(231，232，233)设计为缩小在此情况中产生的成像，使得由单独光波导(122₁-122_N)的光束(400₁-400_N)构成的光斑(420)出现在该基板晶片(300)上，以及

其中分配给写入头(200_i,j)的光波导(122₁-122_N)中的每一个各自分配独立可驱动的电光调节器(131)，以及

其中该扫描装置(240)还设计为在该基板晶片(300)上执行该光斑(420)的周期线补偿运动(503)，并且所述周期线补偿运动用于补偿所述基板晶片的传输运动且具有与所述传输运动相同的方向。

2.如权利要求1所述的光刻设备，

其中至少一个写入头(200_i,j)的扫描装置(240)包含振动扫描镜(241)，其在于该传输方向上移动的该基板晶片(300)上产生该光斑(420)的正弦运动轨迹(504)，且其中该控制装置(170)设计为在扫描周期期间以取决于该光斑(420)在该基板晶片(300)上的当前速度的方式，改变在该基板晶片(300)上形成该光斑(420)的所述光束(400₁-400_N)中至少一个的光强度。