[发明专利]由折射及具有磁化率的波的速度上的变化测量温度的方法有效
| 申请号： | 201580060473.3 | 申请日： | 2015-10-06 |
| 公开（公告）号： | CN107110718B | 公开（公告）日： | 2019-11-12 |
| 发明（设计）人： | 甘加达尔·希拉瓦特 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | G01K11/00 | 分类号： | G01K11/00 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人： | 徐金国;赵静 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 于此描述用于在真空腔室中使用热传感器原位确定基板温度的方法及设备。在一个实施方式中，热感应器具有传送器，该传送器经构造以传送电磁波；接收器，该接收器经构造以接收电磁波；及控制器，该控制器经构造以控制该传送器及该接收器，其中该控制器自所传送的该电磁波及所接收的该电磁波之间的差异来确定温度。 | ||
| 搜索关键词： | 折射 具有 磁化率 速度 变化 测量 温度 方法 | ||
【主权项】：
1.一种热传感器，包括：传送器，所述传送器经构造以传送电磁波至基板的近侧；接收器，所述接收器经构造以自所述基板的远侧接收在所述基板内折射并穿过所述基板的电磁波，所接收的所述电磁波具有自所传送的所述电磁波的位移；以及控制器，所述控制器经构造以控制所述传送器及所述接收器，其中控制器经构造以造成所述传送器在测量的初始位置处传送所述电磁波向所述基板的近侧，其中所述控制器进一步经构造以在相对于所述初始位置的第二测量位置处测量经折射的电磁波的位移，所述经折射的电磁波由所述接收器接收自所述基板的远侧，其中可操作所述控制器以自所传送的所述电磁波与所接收的所述电磁波之间的测量位移来确定温度。
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