[发明专利]研磨材以及研磨材的制造方法在审
| 申请号： | 201580057685.6 | 申请日： | 2015-10-06 |
| 公开（公告）号： | CN107073688A | 公开（公告）日： | 2017-08-18 |
| 发明（设计）人： | 向史博;岩永友树;高木大辅;西藤和夫;田浦歳和 | 申请（专利权）人： | 阪东化学株式会社 |
| 主分类号： | B24D11/00 | 分类号： | B24D11/00;B24D3/00;B24D3/04 |
| 代理公司： | 北京同立钧成知识产权代理有限公司11205 | 代理人： | 杨文娟,臧建明 |
| 地址： | 日本兵库县神户市*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明的目的在于提供一种研磨材，其能以高水平兼具基板材料的加工效率与整饰平坦性并且研磨成本低，即便为蓝宝石或碳化硅等难加工基板，也可高效率且高精度地进行研磨。本发明为一种具备基材、及层叠于其表面侧的研磨层的研磨材，且其特征在于所述研磨层含有以无机物作为主成分的粘合剂及分散于该粘合剂中的研磨粒子，所述研磨层的表面是由经槽划分的多个区域所构成，所述研磨层表面的最大凸部高度(Rp)为2.5μm以上且70μm以下。所述多个区域可在俯视正交的XY方向上配设有至少两个以上。所述粘合剂可含有以氧化物作为主成分的填充剂，且所述氧化物填充剂的平均粒径小于所述研磨粒子的平均粒径。所述无机物可为硅酸盐。所述研磨粒子可为金刚石。 | ||
| 搜索关键词： | 研磨 以及 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种研磨材，其具备基材、及层叠于其表面侧的研磨层，并且所述研磨材的特征在于：所述研磨层含有以无机物作为主成分的粘合剂及分散于所述粘合剂中的研磨粒子，所述研磨层的表面是由经槽划分的多个区域所构成，所述研磨层表面的最大凸部高度(Rp)为2.5μm以上且70μm以下。
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